2023年 第25卷 第1期
《中国工程科学》 >> 2023年 第25卷 第1期 doi: 10.15302/J-SSCAE-2023.01.003
集成电路用高纯金属溅射靶材发展研究
1. 有研亿金新材料有限公司，北京 102200；
2. 集成电路关键材料国家工程研究中心，北京 100088；
3. 中国有研科技集团有限公司，北京 100088
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摘要
高纯金属溅射靶材是集成电路用关键基础材料，实现集成电路用靶材的全面自主可控，对推动集成电路产业高质量发 展具有基础性价值。本文分析了集成电路用高纯金属溅射靶材的应用需求，梳理了相应高纯金属溅射靶材的研制现状，涵盖 高纯铝及铝合金、高纯铜及铜合金、高纯钛、高纯钽、高纯钴和镍铂、高纯钨及钨合金等细分类别。在凝练我国高端靶材制 备关键技术及工程化方面存在问题的基础上，着眼领域2030年发展目标，提出了集成电路用高纯金属溅射靶材产业的重点 发展方向：提升材料制备技术水平，攻克高性能靶材制备关键技术，把握前沿需求开发高端新材料，提升材料分析检测和应 用评价能力。研究建议，开展“产学研用”体系建设，解决关键设备国产化问题，加强人才队伍建设力度，掌握自主知识产 权体系，拓展国际合作交流，以此提升高纯金属溅射靶材的发展质量和水平。
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