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纳米制造

纳米制造 1 篇文章

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基于超构表面等离激元透镜的高速并行近场直写纳米光刻系统 Article

胡跃强, 李苓, 王榕, 宋剑, 王鸿栋, 段辉高, 纪佳馨, 孟永钢

《工程(英文)》 2021年 第7卷 第11期   页码 1623-1630 doi:10.1016/j.eng.2020.08.019

摘要 388 PDF 85