正文
《机械工程前沿(英文)》 >> 2008年 第3卷 第2期 doi: 10.1007/s11465-008-0031-4
Electrorheological damper for the ultra-precision air bearing stage
Department of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University;
摘要
关键词
post-yield ; linear-motor ; advanced sliding ; pre-yield ; position
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