大面积扫描探针显微镜研制

2004年第6卷第9期

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大面积扫描探针显微镜研制

1.东南大学智能运输系统研究中心，南京 210096

2.南大学分子与生物分子电子学教育部重点实验室，南京 210096

资助项目：“九五”国家科技攻关项目（96745-03-01）收稿日期： 2003-07-10 修回日期： 2003-11-17 发布日期： 2004-09-20

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摘要

介绍了一种大面积扫描探针显微镜。仪器采用大范围扫描与高精度微动扫描相分离、X-Y扫描与纵向检测相分离的方案，同时具备较大扫描范围和较高的分辨率，扫描重复性好，大面积扫描范围220mm×290mm×60mm，重复性2～3 μm，并可实现探针的自动逼近、光学显微镜自动聚焦和图像自动拼接。

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参考文献

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