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《中国工程科学》 >> 2004年 第6卷 第10期

分析芯片微通道制作技术进展

1.山东大学控制科学与工程学院,济南 250061

2.中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京 100080

资助项目 :国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003) 收稿日期: 2003-12-17 修回日期: 2004-03-01 发布日期: 2004-10-20

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摘要

微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一。就选取材料的原则,模板复制中的模具制造技术及微通道直接加工方法做了比较,提出了微流体芯片产业化的可行性方案。

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参考文献

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