旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

2006年第8卷第8期

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《中国工程科学》 >> 2006年第8卷第8期

旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

北京信息工程学院传感技术研究中心北京 100101

资助项目：国家自然科学基金资助项目（60472011）；北京市传感器重点实验室资助项目（4032010）收稿日期： 2005-11-22 修回日期： 2006-01-04 发布日期： 2006-08-20

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摘要

报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构（硅摆）的设计、制作与封装工艺，用仿真器测试了旋转体的角速率。模拟试验和性能测试表明，该陀螺结构原理正确，可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度，以及旋转体自身的角速度。

关键词

硅 ; 各向异性腐蚀 ; 角速度 ; 仿真器

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参考文献

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