2006年 第8卷 第10期
提高硅微谐振系统性能的一项有效措施
东南大学仪器科学与工程系, 南京 210096
收稿日期 ：2005-10-05 修回日期 ：2005-12-28 发布日期 ：2006-10-20下一篇 上一篇
摘要
介绍了硅微谐振器系统的工作原理，重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术。结合实验数据和扫频曲线，得出在不同真空度环境下谐振器的两种扫频结果，并对谐振系统的工作情况给予评价。
关键词
直接数字合成(DDS) ; 硅微谐振器 ; AD9954 ; 数字信号处理(DSP)
图片
图1 硅微谐振闭环系统驱动框图
图2 DDS扫描工作流程
图3 DDS串口连接图及操作时序
图4 谐振器在不同真空度环境下的扫频曲线
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