提高硅微谐振系统性能的一项有效措施

2006年第8卷第10期

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《中国工程科学》 >> 2006年第8卷第10期

提高硅微谐振系统性能的一项有效措施

东南大学仪器科学与工程系, 南京 210096

资助项目：八六三”国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA812038)；“十五”计划国防预研资助项目(41308050109) 收稿日期： 2005-10-05 修回日期： 2005-12-28 发布日期： 2006-10-20

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摘要

介绍了硅微谐振器系统的工作原理，重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。详细分析了AD9954作为智能精密驱动源的粗细搜索两种阶段工作流程并给出与DSP器件的数字接口技术。结合实验数据和扫频曲线，得出在不同真空度环境下谐振器的两种扫频结果，并对谐振系统的工作情况给予评价。

关键词

直接数字合成(DDS) ; 硅微谐振器 ; AD9954 ; 数字信号处理(DSP)

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图1 硅微谐振闭环系统驱动框图

图2 DDS扫描工作流程

图3 DDS串口连接图及操作时序

图4 谐振器在不同真空度环境下的扫频曲线