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2022年 第23卷 第5期
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《信息与电子工程前沿(英文)》 >> 2022年 第23卷 第5期 doi: 10.1631/FITEE.2100236
利用微机电系统技术制作弯曲结构表面无线无源柔性加速度计
1中北大学电子测试技术重点实验室,中国太原市,030051;2中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中国太原市,030051
弯曲结构表面 ; 柔性加速度计 ; 微机电系统(MEMS)技术 ; 无线非接触式测量
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