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微机电系统
微机电系统 2 篇文章
基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管微机电系统微力传感器 Article
高文迪, 乔智霞, 韩香广, 王小章, Adnan Shakoor, 刘存朗, 卢德江, 杨萍, 赵立波, 王永录, 王久洪, 蒋庄德, 孙东
《工程(英文)》 2023年 第21卷 第2期 页码 61-74 doi:10.1016/j.eng.2022.06.018
摘要 143 PDF 61
基于LiNbO3/SiO2/SiC异质结构实现44 GHz超高频声表面波谐振器 Article
周剑, 张定红, 刘炀辉, 卓凤玲, 钱莉荣, 李红浪, 傅永庆, 段辉高
《工程(英文)》 2023年 第20卷 第1期 页码 112-119 doi:10.1016/j.eng.2022.05.003
摘要 205 PDF 95
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