2000年 第2卷 第1期
微系统研究展望
重庆大学，重庆 400044
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摘要
微系统是在微米/纳米尺度上开展研究工作的，涉及到多种科学和技术领域，含微电子、微机械、微光学、化学、生物技术和材料等，它是多种技术的综合和多学科交叉的前沿领域，已显示出强大的生命力。微系统研究在传统理论和技术基础上起步和发展，人们在硅片上制作微型机械、微马达和光路系统微型化的惊喜之余，又引起了一些困惑和思考。人们必将冲破传统科学技术和思想，通过科研有所创新和突破，不断开拓进取，真正成为高新技术的生长点和面向市场新的经济增长点，开创21世纪新兴产业，这是当前迫切需要研究的课题。
现在，微系统研究的热点是：微域的科学和技术基础；新的信息获取、传输和处理技术；超精密检测和操作；微系统新材料和微制造技术。
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