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期刊论文 3

年份

2021 1

2019 1

2016 1

关键词

光栅干涉仪；光学编码器；位移测量；精密测量 1

数字莫尔条纹；位移测量；光栅 1

无偏溯源角；光栅干涉仪；六自由度测量；角度表达方法 1

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位移测量光栅干涉仪综述 Special Feature on Precision Measurement and Inst

Peng-cheng HU, Di CHANG, Jiu-bin TAN, Rui-tao YANG, Hong-xing YANG, Hai-jin FU

《信息与电子工程前沿（英文）》 2019年 第20卷 第5期   页码 631-654 doi: 10.1631/FITEE.1800708

摘要： 光栅干涉仪是测量精密位移的常用方法。和激光干涉仪相比，光栅干涉仪对空气折射率不敏感且易于实现多自由度测量结构，因此被广泛研究、应用。从光学测量原理角度看，光栅干涉仪历经零差干涉、外差干涉和空间分离式外差干涉3个阶段。与前两者相比，空间分离式外差光栅干涉仪具有能消除光学混叠引起纳米级周期非线性误差的特性，可以获得更高位移测量精度。与此同时，各式各样光栅干涉仪结构被提出，以提高光学细分数、增加量程、提升适用性或实现多自由度位置姿态测量。本文详细总结了近年来增量式位移测量光栅干涉仪的发展，并简述其测量误差相关的研究。

关键词： 光栅干涉仪；光学编码器；位移测量；精密测量    

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六自由度光栅干涉仪中的无偏溯源角表达法 Research Article

常笛1,2,胡鹏程1,2,谭久彬1,2

《信息与电子工程前沿（英文）》 2021年 第22卷 第12期   页码 1551-1684 doi: 10.1631/FITEE.2000432

摘要： 光栅姿态角表达方法是六自由度光栅干涉测量的重要课题，但仅有少量相关研究。目前，广泛用于航空航天、导航和机器人领域的导航角（roll-pitch-yaw）被引入六自由度光栅干涉测量领域。然而，因导航角存在固有旋转顺序，在描述绕多个测量轴的复杂旋转时会引起溯源偏差，且该偏差随光栅偏摆角度增加而增大，并不符合干涉系统中的精确定义。基于机器人领域的融合角（fused angles）表达法，本文提出“无偏溯源角（fused-like angles）”表达法，因无偏溯源角不会引起溯源偏差，更加符合光栅干涉仪中的定义，从而更适合六自由度测量提出的无偏溯源角已应用于六自由度光栅干涉的运动模型和解耦算法研究。

关键词： 无偏溯源角；光栅干涉仪；六自由度测量；角度表达方法    

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一种用于位移传感器的数字莫尔方法 Article

Jian WU,Ting-ting ZHOU,Bo YUAN,Li-qiang WANG

《信息与电子工程前沿（英文）》 2016年 第17卷 第9期   页码 946-953 doi: 10.1631/FITEE.1500270

摘要： 创新点：仅使用一块光栅，利用图像处理技术生成数字莫尔条纹，从而既具有传统莫尔条纹技术的优点，又方便装调和系统分辨率设置。 方法：首先，利用面阵探测器接收光栅的放大像，并将图像信号送入计算机中。然后，将光栅像与其镜像像进行叠加产生数字莫尔条纹，并对条纹信号进行积分以得到数字莫尔曲线。最后，利用特殊设计算法估计条纹移动前后的相位差，并根据相位差计算位移量。

关键词： 数字莫尔条纹；位移测量；光栅    

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标题 作者 时间 类型 操作

位移测量光栅干涉仪综述

Peng-cheng HU, Di CHANG, Jiu-bin TAN, Rui-tao YANG, Hong-xing YANG, Hai-jin FU

期刊论文

六自由度光栅干涉仪中的无偏溯源角表达法

常笛1,2,胡鹏程1,2,谭久彬1,2

期刊论文

一种用于位移传感器的数字莫尔方法

Jian WU,Ting-ting ZHOU,Bo YUAN,Li-qiang WANG

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