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《信息与电子工程前沿(英文)》 >> 2021年 第22卷 第10期 doi: 10.1631/FITEE.2000330
磁控溅射法生长的带隙可调谐(GaxIn1−x)2O3
1桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室,中国桂林市,541004;2浙江理工大学光电材料与器件中心,浙江省光场调控技术重点实验室,中国杭州市,310018;3上海电机大学机械工程学院,中国上海市,200245
摘要
关键词
(GaxIn1−x)2O3薄膜 ; 带隙可调谐 ; 磁控溅射
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