资源类型

期刊论文 1

年份

2013 1

关键词

EBL 1

FIB 1

ICP 1

纳米台阶 1

纳米栅线 1

检索范围：

排序： 展示方式：

典型纳米结构制备及其测量表征

蒋庄德,王琛英,杨树明

《中国工程科学》 2013年 第15卷 第1期   页码 15-20

摘要： 采用电子束直写技术（EBL）和感应耦合等离子体刻蚀（ICP）制备了名义高度为220 nm的硅台阶样板。

关键词： 纳米栅线     纳米台阶     EBL     ICP     FIB    

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典型纳米结构制备及其测量表征

蒋庄德,王琛英,杨树明

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