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蒋庄德,王琛英,杨树明
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第1期 页码 15-20
针对纳米器件中的典型几何特征,制备了3种纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征。提出转换薄膜厚度为线宽的公称值、基于多层薄膜淀积技术制备纳米宽度结构的方法,制备出了具有名义线宽尺寸分别为20 nm、25 nm、35 nm的纳米栅线结构。用离线的图像分析算法对所制备的纳米线宽样板的线边缘粗糙度/线宽粗糙度(LER/LWR)以及栅线线宽的一致性进行了评估。实验表明所制备纳米线宽样板的栅线具有较好的一致性,LER/LWR值小,且具有垂直的侧壁。采用电子束直写技术(EBL)和感应耦合等离子体刻蚀(ICP)制备了名义高度为220 nm的硅台阶样板。实验表明刻蚀后栅线边缘LER/LWR的高频成分减少,相关长度变长,均方根偏差值(σ)增大。
8英寸绝缘栅双极型晶体管 (IGBT) 关键技术研究 Article
刘国友,丁荣军,罗海辉
《工程(英文)》 2015年 第1卷 第3期 页码 361-366 doi: 10.15302/J-ENG-2015043
基于8英寸绝缘栅双极型晶体管 (IGBT) 生产线的建设,重点解决了8英寸IGBT先进工艺技术、第四代高压双扩散金属氧化物半导体 (DMOS+) IGBT技术和第五代沟槽栅IGBT技术等关键技术问题
关键词: 绝缘栅双极型晶体管 (IGBT) 高功率密度 沟槽栅 8英寸 轨道交通
郭沛沛,李成名,殷勇
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第5期 页码 42-46
等高线树在提取地形线、地貌综合等方面具有重要的应用意义。常用的等高线树表达的是等高线的层次关系,直接表达等高线的包含和邻接关系,建树过程复杂,对数据要求较高,需要对数据进行预处理。本文将图幅内等高线按照是否闭合分为两类,分别对两类等高线群进行建树,最后将两个独立的等高线树合并,形成完整的等高线树。最后生成的等高线树表示了等高线之间的相邻关系,再借助其高程值就可以判断出等高线之间的包含邻接关系,算法容易理解,程序实现简单。
王金生,姚春燕,彭伟,金鑫, 陈世杰
《中国工程科学》 2012年 第14卷 第11期 页码 94-98
游离磨料线锯切割是将磨浆中的磨粒通过一定速度的细钢丝线带入切割区域,达到去除工件材料的目的。多股线由多根细金属线绕制而成,表面具有很多凹槽,与钢丝线光滑表面相比,可以输送更多的磨粒进入切割区域,从而提高切割效率。应用0.25 mm的多股线和0.25 mm的钢丝线对光学玻璃K9进行切割对比实验,结果表明,在相同工艺条件下,多股线的切割效率和表面粗糙度均优于钢丝线,但切缝宽度大于钢丝线。
袁俊
《中国工程科学》 2001年 第3卷 第10期 页码 82-85
2000年2月美国制定了 “国家纳米技术战略”,引起世界各国的巨大反响,日本、欧洲的工业先进 国家先后制定了纳米技术发展规划。纳米科技这一崭新的前沿学科,被视为新一轮材料革命的核心,在航空航 天领域将产生重大影响。文章综述了纳米技术的概念、纳米材料及纳米技术的研究情况。
纳米工程混凝土界面过渡区的纳米力学特征 Article
王欣悦, 董素芬, 李镇明, 韩宝国, 欧进萍
《工程(英文)》 2022年 第17卷 第10期 页码 99-109 doi: 10.1016/j.eng.2020.08.025
本研究利用纳米压痕试验和统计学方法研究了纳米填料对水泥石与骨料间界面过渡区(interfacial transition zone, ITZ纳米压痕试验结果表明,水泥石复合纳米填料可提高水泥石-骨料ITZ 内部水化程度,减少微孔隙和低密度水化硅酸钙(low-density calcium silicate hydrate, LD C-S-H此外,本研究表征了一种新的由于纳米中心效应诱导产生的低密度水化硅酸钙(nano-core induced low-density calcium silicate hydrate, NCILD C-S-H微观力学分析结果表明,ITZ水泥石复合纳米填料后产生的纳米中心-壳单元会增加LD C-S-H的堆积密度,并显著增强水化硅酸钙(calcium silicate hydrate, C-S-H)基本粒子之间的相互作用本研究为在纳米尺度上理解纳米填料对混凝土ITZ 的影响提供了理论基础。
姚骏恩
《中国工程科学》 2003年 第5卷 第1期 页码 33-37
纳米科技是当今国际上的一个热点。文章对纳米科技作了简要介绍, 纳米测量和加工是纳米科技中的一个不可缺少的重要组成部分。叙述了发展纳米测量和纳米加工技术的两个主要途径:一是发展传统技术,主要是电子显微术以及最近发展起来的聚焦离子束(FIB)- 电子束数控加工中心;二是创造新的测量仪器,建立新原理和新方法,介绍了国内外电子显微镜和扫描探针显微镜这两类纳米测量分析仪器的发展指出我国电子显微仪器和扫描探针显微镜的开发和生产面临困境,应尽快建立和加强自己的电子显微仪器和扫描探针显微镜等纳米测量和纳米加工设备制造产业,并列入国家科技发展规划。
魏文寿,王敏仲,何清
《中国工程科学》 2012年 第14卷 第10期 页码 51-56
利用塔克拉玛干沙漠大气环境观测试验站2010年4月11日沙尘天气风廓线雷达资料,分析了此次过程启动爆发的水平风场、垂直速度和雷达等效回波强度特征研究表明:风廓线雷达是进行沙尘探测和监测的一种有效的高空大气遥感系统,它不仅可以捕捉到沙尘天气的开始和结束时间,而且能监测到沙尘在空中被输送的高度、厚度范围以及沙尘运动的垂直强度特征;塔克拉玛干沙漠扬沙和沙尘暴雷达等效回波强度约为
何宇廷
《中国工程科学》 2006年 第8卷 第6期 页码 23-27
在分析基准使用条件下飞机结构寿命包线的基础上,给出飞机结构在非基准使用条件下的寿命包线的绘制方法,阐明了在非基准使用条件下对飞机结构进行单机寿命监控的原理与方法。
纳米技术和纳米医学——肺癌诊断和治疗的希望之路 Review
尹伟, 潘峰, 朱俊杰, 徐军武, Diego Gonzalez-Rivas, Meinoshin Okumura, 唐志勇, 杨洋
《工程(英文)》 2021年 第7卷 第11期 页码 1577-1585 doi: 10.1016/j.eng.2020.04.017
金属网栅透明导电膜光电性能综合评价因子 Research Articles
张怡蕾1,2,曹瑾璇1,2,陆振刚1,2,王赫岩1,2,谭久彬1,2
《信息与电子工程前沿(英文)》 2021年 第22卷 第11期 页码 1532-1540 doi: 10.1631/FITEE.2000690
傅杰,李光强,于月光,毛新平,方克明
《中国工程科学》 2011年 第13卷 第1期 页码 31-42
简要叙述了关于钢强化机理的研究现状,用化学相分析+X射线小角散射、RTO方法及高分辨透射电镜对薄板坯连铸连轧钛微合金化高强耐候钢中纳米粒子的属性进行了综合分析发现钛微合金化高强耐候钢中尺寸<36 nm的粒子,除纳米TiC以外,还存在大量的纳米Fe3C,其体积分数为同尺寸TiC体积分数的4.4倍,析出强化作用比纳米TiC粒子大,不可忽略;提出了钢的综合强化机理,指出对不同种类、不同尺寸的纳米析出粒子,应分别根据位错切割和位错绕过机理计算出析出强化贡献,然后与固溶强化和细晶强化贡献加和,求得钢的屈服强度;讨论了细晶强化与位错强化不能加和的原因以及相变对钢强度影响的表现形式
碳纳米管场效应管四进制全加器设计与分析 Article
Mohammad Hossein MOAIYERI,Shima SEDIGHIANI,Fazel SHARIFI,Keivan NAVI
《信息与电子工程前沿(英文)》 2016年 第17卷 第10期 页码 1056-1066 doi: 10.1631/FITEE.1500214
利用纳米粒子进行肿瘤分子成像 Review
程震,闫雪峰,孙夕林,申宝忠,Sanjiv Sam Gambhir
《工程(英文)》 2016年 第2卷 第1期 页码 132-140 doi: 10.1016/J.ENG.2016.01.027
基于AFM探针的纳米加工技术制备周期性纳米结构——沟槽和材料堆积形貌相结合 Article
耿延泉, 闫永达, 王继强, Emmanuel Brousseau, 孙彦文, 孙雅洲
《工程(英文)》 2018年 第4卷 第6期 页码 787-795 doi: 10.1016/j.eng.2018.09.010
本文提出了一种基于原子力显微镜(AFM)探针的加工技术制备周期性纳米结构的方法,该方法通过将加工得到的沟槽形貌和沟槽边缘的材料堆积形貌相结合得到周期性纳米结构。研究发现控制相邻沟槽的间距是保证周期性纳米结构质量的重要因素。实验结果表明,当相邻刻划轨迹间的进给量值等于单个沟槽两侧材料堆积峰值间的宽度时,可以通过本方法加工得到较高质量的周期性结构。加工得到的纳米结构周期性可以通过一维和二维快速傅里叶变换(FFT)算法进行评价。在检测得到周期结构的AFM 图像中,取其截面进行FFT并将幅频特性曲线归一化,在幅频特性曲线中用峰值部分面积与总体面积的比值来定量分析纳米结构的周期性。最后,对加工得到的周期性纳米结构产生的颜色化效应进行了研究,证明了其在防伪以及金属传感等领域有潜在的应用价值。
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