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《信息与电子工程前沿(英文)》 >> 2017年 第18卷 第8期 doi: 10.1631/FITEE.1601121
结合选择性和数字湿法腐蚀的InAlAs/InGaAs InP基HEMTs两步栅槽腐蚀工艺
. School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450001, China.. Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China
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