分析芯片微通道制作技术进展

魏守水1、张玉林1、崔大付2

中国工程科学 ›› 2004, Vol. 6 ›› Issue (10) : 90-94.

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中国工程科学 ›› 2004, Vol. 6 ›› Issue (10) : 90-94.
综合述评

分析芯片微通道制作技术进展

  • 魏守水1、张玉林1、崔大付2

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Development of Microfabrication Techniques for Production of Analysis Chip

  • Wei Shoushui1、 Zhang Yulin1、 Cui Dafu2

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摘要

微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一。就选取材料的原则,模板复制中的模具制造技术及微通道直接加工方法做了比较,提出了微流体芯片产业化的可行性方案。

Abstract

Fabrication of micro-channels is a key technique for production of analysis chip. The principles of selecting material, the fabrication of mold used in molding replication and every directly fabricating methods were compared and discussed. Some available methods of microfabrication for production of analysis chip were proposed.

关键词

分析芯片 / 微细加工 / μ-TAS

Keywords

analysis chip / microfabrication / μ-TAS

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魏守水,张玉林,崔大付. 分析芯片微通道制作技术进展. 中国工程科学. 2004, 6(10): 90-94

参考文献

基金
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)
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