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期刊论文 1
2004 1
μ-TAS 1
分析芯片 1
微细加工 1
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分析芯片微通道制作技术进展
魏守水,张玉林,崔大付
《中国工程科学》 2004年 第6卷 第10期 页码 90-94
微通道制作是微分析芯片制作中的关键技术之一。就选取材料的原则,模板复制中的模具制造技术及微通道直接加工方法做了比较,提出了微流体芯片产业化的可行性方案。
关键词: 分析芯片 微细加工 μ-TAS
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