资源类型

期刊论文 1

年份

2000 1

关键词

总有机碳 1

溶解氧 1

细菌 1

超大规模集成电路 1

高纯水 1

检索范围：

排序： 展示方式：

现代高纯水

闻瑞梅

《中国工程科学》 2000年 第2卷 第1期   页码 68-72

摘要：

论述了超大规模集成电路与高纯水的关系以及对水质的要求；研究了高纯水制备的几个关键新技术及提高高纯水质量的方法，该方法能有效地降低高纯水中的总有机碳、细菌、细菌内毒素、溶解氧等；讨论了高纯水常用各种管材的污染

关键词： 高纯水     超大规模集成电路     总有机碳     细菌     溶解氧    

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现代高纯水

闻瑞梅

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