现代高纯水

2000年第2卷第1期

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现代高纯水

中国科学院半导体研究所，北京 100083

收稿日期： 1999-09-08 发布日期： 2000-01-20

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摘要

论述了超大规模集成电路与高纯水的关系以及对水质的要求；研究了高纯水制备的几个关键新技术及提高高纯水质量的方法，该方法能有效地降低高纯水中的总有机碳、细菌、细菌内毒素、溶解氧等；讨论了高纯水常用各种管材的污染，并列举了大量数据和应用实例。

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图1

图2

图3

参考文献

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