资源类型

期刊论文 1

年份

2000 1

关键词

GaAs基微结构材料 1

PHEMT 1

分子束外延 1

高技术产业 1

检索范围：

排序： 展示方式：

我国MBE GaAs基材料如何从实验室走向产业化

孔梅影,曾一平

《中国工程科学》 2000年 第2卷 第5期   页码 28-30

摘要：

以分子束外延（MBE）GaAs基微结构材料为基础制作的HEMT，PHEMT等器件在信息产业中已广泛应用，在国外并已进入产业化。20世纪80年代中期以来，中科院半体所研制的MBE GaAs基材料，已被成功地用于制备出一系列新型半导体器件；其HEMT，PHEMT微结构材料的实用化性能指标已经基本达到国际一流产品的水平；并对MBE

关键词： 分子束外延     GaAs基微结构材料     PHEMT     高技术产业    

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我国MBE GaAs基材料如何从实验室走向产业化

孔梅影,曾一平

期刊论文