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期刊论文 1

年份

2012 1

关键词

化学机械抛光 1

复合磨粒 1

抛光液 1

聚电解质 1

铜片 1

检索范围：

排序： 展示方式：

静电自组装制备复合磨粒及其对铜的抛光特性研究

黄亦申,许雪峰,姚春燕,胡建德,彭伟

《中国工程科学》 2012年 第14卷 第10期   页码 82-89

摘要： 利用静电自组装技术改变和控制BGF微球的荷电特性，制备出不同形式的PEi BGF/SiO2复合磨粒，以Zeta电位、透射电子显微镜（TEM）和热重分析（TG）等手段对复合磨粒进行了表征，并利用这些复合磨粒制备了铜片抛光用的复合磨粒抛光液;m×5 μm范围内，表面粗糙度Ra从0.166 μm分别降至3.7 nm、2.6 nm和1.5 nm，峰谷值Rpv分别小于20 nm、14 nm和10 nm，复合磨粒抛光液对铜片有良好的抛光性能

关键词： 化学机械抛光     抛光液     复合磨粒     聚电解质     铜片    

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静电自组装制备复合磨粒及其对铜的抛光特性研究

黄亦申,许雪峰,姚春燕,胡建德,彭伟

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