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关键词

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低碳发展 5

低碳 4

低渗透 3

多晶硅 3

低渗透油田 2

化石能源 2

压裂 2

天然气 2

碳中和 2

能源 2

4比特可重构天线阵列 1

9 + 2结构 1

AD9954 1

BDS/GPS双系统定轨 1

BDS码偏差 1

CO₂排放 1

FCC汽油 1

FRP 聚合物 1

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含磷低硅TRIP 钢快速退火组织演变行为研究

陈蓬,沈春豫,许云波,王国栋

《中国工程科学》 2014年第16卷第1期页码 48-53

摘要：

通过实验室热处理模拟实验，对含磷低硅transformation induced plasticity（TRIP）钢快速退火过程中各个阶段的组织演变行为进行研究，主要研究了不同退火温度对各个阶段组织组成的影响

关键词：汽车钢 TRIP钢低硅快速退火组织演变

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硅及硅基半导体材料中杂质缺陷和表面的研究

屠海令

《中国工程科学》 2000年第2卷第1期页码 7-17

摘要：

随着超大规模集成电路设计线宽向深亚微米级（＜0.5μm）和亚四分之一微米级（＜0.25μm）发展，对半导体硅片及其它硅基材料的质量要求越来越高，研究上述材料中各种杂质的行为，控制缺陷类型及数量文章阐述了深亚微米级和亚四分之一微米级集成电路用大直径硅材料中铁、铜金属和氧、氢、氮非金属杂质元素的行为，点缺陷及其衍生缺陷的本质与控制方法，硅片表面形貌、表面污染与检测方法的研究热点。同时还介绍了外延硅、锗硅及绝缘体上硅（SOI）等硅基材料的特性、制备及工艺技术发展趋势，展望了跨世纪期间硅及硅基材料产业发展的技术经济前景。

关键词：硅片硅外延片锗硅绝缘体上硅杂质行为缺陷控制表面质量

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电子级多晶硅的生产工艺

梁骏吾

《中国工程科学》 2000年第2卷第12期页码 34-39

摘要：

就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氣氢硅法、四氣化硅法、二氣二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比；对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较介绍了用三氣氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1000t/a级的电子级多晶硅生产。

关键词：多晶硅三氣氢硅法硅烷法流程生产

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利用机载激光雷达和近地表地球物理方法空间识别复杂低幅度第四纪硅质碎屑岩层——以美国得克萨斯滨海平原为例 Article

Jeffrey G. Paine,Edward W. Collins,Lucie Costard

《工程（英文）》 2018年第4卷第5期页码 676-684 doi: 10.1016/j.eng.2018.09.005

摘要：传统上在低幅度滨海平原上描绘的第四纪硅质碎屑沉积单元建立在航拍图和低分辨率地形图的基础上。低幅度和低曝光率影响了观测的准确性和精确性。在低幅度滨海平原环境中识别岩性和地层分布的最佳方法是：①首先使用激光雷达探测生成详细的高程模型；②基于激光雷达数据和航拍图的初步定位，选择性进行地表采样和地球物理探测；③在激光雷达和地表探测完成后，选择关键位置进行钻孔取样

关键词：岩性地球物理电磁感应激光雷达

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兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考

梁骏吾

《中国工程科学》 2000年第2卷第6期页码 33-35

摘要：

文章简要评述了世界以及中国的电子级多晶硅的生产能力和市场需求。在2000年和2010年中国对多晶硅的需求分别是736 t/a和1304 t/a。但近几年中国的多晶硅生产仅达到80 t/a，所以在中国建设一座年产1000 t电子级多晶硅的工厂是很合理的。然而由最新统计数据可知，自1997年以来，世界多晶硅生产能力连年均超过市场需求，而且在最近的将来，这一趋势将会继续。为了占领国内多晶硅市场，未来的多晶硅工厂将面临挑战，产品质量和生产成本是应当考虑的最重要指标。为了占领国内市场，在保证多晶硅产品纯度的前提下，生产成本只能略微超过20美元/kg。

关键词：多晶硅半导体工业规模生产

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硅基石墨烯调制器 Special Feature on Optoelectronic Devices and Inte

Hao-wen SHU, Ming JIN, Yuan-sheng TAO, Xing-jun WANG

《信息与电子工程前沿（英文）》 2019年第20卷第4期页码 458-471 doi: 10.1631/FITEE.1800407

摘要：为满足下一代光互联技术高带宽、低功耗的需求，基于金属互补氧化物半导体（CMOS）工艺的硅基光电子技术有望实现光电器件大规模、高密度集成，在高速率数据传输方面带来新突破。硅基调制器是硅基光电子学的核心器件之一，然而传统基于等离子色散效应的硅基耗尽式调制器在带宽、尺寸和功耗方面存在一定限制，影响传输系统整体性能。为解决该问题，石墨烯被引入硅基光电子器件的材料体系，其优异的电学传输特性和光电特性有效提升传统硅基光调制器单元器件性能。我们总结了基于热光、电光、等离子体等硅基石墨烯调制器的最新进展，其出色性能使硅基石墨烯调制器有望成为下一代片上及片外光互连技术的候选方案。

关键词：硅基光电子学；石墨烯；光调制器

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旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

张福学,毛旭,张伟

《中国工程科学》 2006年第8卷第8期页码 23-27

摘要：

报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构（硅摆）的设计、制作与封装工艺，用仿真器测试了旋转体的角速率。

关键词：硅各向异性腐蚀角速度仿真器

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用硅基激光器提高数据容量限制

Peter Weiss

《工程（英文）》 2019年第5卷第5期页码 824-825 doi: 10.1016/j.eng.2019.08.011

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用于制造高效低成本太阳能电池的单晶种铸造大型单晶硅 Article

Bing Gao,Satoshi Nakano,Hirofumi Harada,Yoshiji Miyamura,Takashi Sekiguchi,Koichi Kakimoto

《工程（英文）》 2015年第1卷第3期页码 378-383 doi: 10.15302/J-ENG-2015032

摘要：

为了能以低成本生产优质大型单晶硅，笔者提出了单晶种铸造技术。这项技术的实施，必须解决两个问题，即坩埚壁上的多晶成核问题和晶体内的位错增殖问题。在本文中，笔者尝试通过数值分析法来解决这两个问题。根据数值分析得出的优化熔炉结构和工况进行了实验，在实验中采用单晶种铸造技术来生长单晶硅。实验结果表明，该技术远优于常用的高性能多晶和准单晶铸造技术。

关键词：单晶种铸造单晶硅多晶成核位错增殖多晶硅

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提高硅微谐振系统性能的一项有效措施

夏敦柱,王寿荣,周百令

《中国工程科学》 2006年第8卷第10期页码 71-74

摘要：

介绍了硅微谐振器系统的工作原理，重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。

关键词：直接数字合成(DDS) 硅微谐振器 AD9954 数字信号处理(DSP)

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用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术

王渭源,王跃林

《中国工程科学》 2002年第4卷第6期页码 56-62

摘要：

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术，整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术，以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述，强调在器件研究开始时应考虑封装问题，具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定

关键词：体硅键合技术薄膜密封技术微电子机械系统封装技术

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混凝土中碱硅反应效应的多尺度均质化分析 Article

Roozbeh Rezakhani, Mohammed Alnaggar, Gianluca Cusatis

《工程（英文）》 2019年第5卷第6期页码 1139-1154 doi: 10.1016/j.eng.2019.02.007

摘要：

碱硅反应（ASR）是混凝土结构（如桥梁和水坝）在长期的高湿度环境下发生的主要劣化机制之一。ASR是骨料中活性硅成分与水泥浆中碱金属离子之间发生的一种化学反应。

关键词：多尺度均质化代表性体积元碱硅反应晶格离散粒子模型

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晶体硅太阳电池最大功率下负载的函数表达

丁金磊,程晓舫,余世杰,何慧若

《中国工程科学》 2005年第7卷第6期页码 45-49

摘要：

从实际的晶体硅太阳电池电路基本方程出发，推导出晶体硅太阳电池最大功率下负载的函数表达。与传统的电工电路不同，太阳电池电路最大功率点下的负载大于太阳电池内阻，并随着温度的升高，其比值逐渐降低。

关键词：晶体硅太阳电池最大功率负载

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“三峡库区”发展低碳经济的战略思考

汪应洛,张国兴,郭菊娥

《中国工程科学》 2010年第12卷第8期页码 4-7

摘要：建议首先大力发展低碳旅游产业：有效规划库区旅游资源，培育低碳旅游产业群，打造库区低碳交通走廊，营销库区特色产业；其次适宜发展低碳种植业：适宜发展经济作物，挖掘碳汇种植潜力，搭建国内碳交易市场；最后构建库区农村低碳生活消费体系，把三峡库区建成我国低碳经济发展的示范区。

关键词：生态环境低碳经济低碳旅游低碳生活消费

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中国低渗透油气的现状与未来

胡文瑞

《中国工程科学》 2009年第11卷第8期页码 29-37

摘要：

中国低渗透油气资源丰富，具有很大的勘探开发潜力。近20年来，在低渗透砂岩、海相碳酸盐岩、火山岩勘探方面取得了很大发现，形成了国际一流的开发配套技术，实现了低渗透油气藏的规模有效开发，低渗透油气产量持续上升，其在产量构成中所占比例逐年增加。无论从近几年新增探明储量还是从剩余油气资源量看，低渗透油气都是今后勘探开发的主要对象，低渗透油气是中国未来油气工业的勘探开发主流，对保障国家能源安全具有重要的战略意义。

关键词：低渗透油气勘探开发主流现状未来技术