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期刊论文 4

年份

2021 1

2005 2

2002 1

关键词

三轴转台 1

传统节流器 1

光刻机 1

变径毛细管节流器 1

变隙滑阀节流器 1

变隙薄板节流器 1

复合节流静压气浮导轨 1

多孔质 1

小孔节流 1

工作点 1

微结构 1

新型可变节流器 1

气体静压轴承 1

液体静压支承 1

节流变量指数 1

转动刚度 1

静态性能 1

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多孔质气体静压轴承在三轴转台设计中的应用

杜金名

《中国工程科学》 2005年 第7卷 第1期   页码 65-68

摘要: 多孔质气体静压轴承同其他节流形式的轴承相比具有很高的承载能力、静态刚度以及很好的阻尼效应。文章对多孔质气体静压轴承进行了理论分析,并同气体静压小孔节流轴承的静态性能进行了比较,结果表明,此类轴承的承载能力明显优于小孔节流轴承。

关键词: 气体静压轴承     多孔质     小孔节流     三轴转台    

节流性能优异的新型液体静压支承节流

孟心斋,孟昭焱

《中国工程科学》 2005年 第7卷 第3期   页码 49-52

摘要:

传统的液体静压支承节流器存在严重缺陷,性能不佳,不能消除支承间隙随外加载荷增加而剧减的缺点,严重影响其实际应用。新型节流节流变量指数b≥3,能够保持节流器进油与油囊排油速度接近一致。此外,当有外加载荷作用于支承时,油囊压力会升高,迫使节流变量产生附加增量,从而弥补了因油囊压力升高而减少供油量与油囊增加的排油量。因此,新型节流器能够保证在有外加载荷作用时支承间隙变化很小或近于不变。新型节流节流性能优良,结构简单,成本低廉,体积较小,具有实用价值。

关键词: 变隙滑阀节流    变隙薄板节流    变径毛细管节流    节流变量指数    

液体静压支承静态性能新表达式探索

孟心斋,杨建玺,孟昭焱

《中国工程科学》 2002年 第4卷 第5期   页码 63-66

摘要: 新的静态性能通用表达式可表达各种传统节流器与新型可变节流节流时支承的主要静态性能,很有应用价值。新的静态性能表达式只有一个变量即外加载荷与油垫推力比,故可在支承节流与尺寸参数未确定之前知道支承的主要静态性能,它有利于事先选择与确定支承在应用时的主要性能,为正确应用液体静压支承提供了可靠的技术基础。

关键词: 液体静压支承     传统节流    新型可变节流    静态性能    

光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计 Article

温众普,  吴剑威,  邢坤鹏,  张银,  李结安,  谭久彬

《工程(英文)》 2021年 第7卷 第2期   页码 226-237 doi: 10.1016/j.eng.2019.09.012

摘要:

在光刻机可变狭缝系统(VS)中,紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构。研究表明,导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能。

关键词: 光刻机     复合节流静压气浮导轨     微结构     工作点     转动刚度    

标题 作者 时间 类型 操作

多孔质气体静压轴承在三轴转台设计中的应用

杜金名

期刊论文

节流性能优异的新型液体静压支承节流

孟心斋,孟昭焱

期刊论文

液体静压支承静态性能新表达式探索

孟心斋,杨建玺,孟昭焱

期刊论文

光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计

温众普,  吴剑威,  邢坤鹏,  张银,  李结安,  谭久彬

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