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杜金名
《中国工程科学》 2005年 第7卷 第1期 页码 65-68
孟心斋,孟昭焱
《中国工程科学》 2005年 第7卷 第3期 页码 49-52
传统的液体静压支承节流器存在严重缺陷,性能不佳,不能消除支承间隙随外加载荷增加而剧减的缺点,严重影响其实际应用。新型节流器节流变量指数b≥3,能够保持节流器进油与油囊排油速度接近一致。此外,当有外加载荷作用于支承时,油囊压力会升高,迫使节流变量产生附加增量,从而弥补了因油囊压力升高而减少供油量与油囊增加的排油量。因此,新型节流器能够保证在有外加载荷作用时支承间隙变化很小或近于不变。新型节流器节流性能优良,结构简单,成本低廉,体积较小,具有实用价值。
孟心斋,杨建玺,孟昭焱
《中国工程科学》 2002年 第4卷 第5期 页码 63-66
光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计 Article
温众普, 吴剑威, 邢坤鹏, 张银, 李结安, 谭久彬
《工程(英文)》 2021年 第7卷 第2期 页码 226-237 doi: 10.1016/j.eng.2019.09.012
在光刻机可变狭缝系统(VS)中,紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构。研究表明,导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能。
关键词: 光刻机 复合节流静压气浮导轨 微结构 工作点 转动刚度
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