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光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计 Article
温众普, 吴剑威, 邢坤鹏, 张银, 李结安, 谭久彬
《工程（英文）》 2021年 第7卷 第2期 页码 226-237 doi: 10.1016/j.eng.2019.09.012
在光刻机可变狭缝系统（VS）中，紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构。研究表明，导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能。在ArF光刻机上的VS上对气浮导轨进行加速扫描实验，平均扫描加速度达到67.5 m·s–2，
达到了设计要求。
关键词： 光刻机 复合节流静压气浮导轨 微结构 工作点 转动刚度
基于超构表面等离激元透镜的高速并行近场直写纳米光刻系统 Article
胡跃强, 李苓, 王榕, 宋剑, 王鸿栋, 段辉高, 纪佳馨, 孟永钢
《工程（英文）》 2021年 第7卷 第11期 页码 1623-1630 doi: 10.1016/j.eng.2020.08.019
张彦仲
《中国工程科学》 2002年 第4卷 第8期 页码 1-7
阐述了中国直升机、运输机的现状,未来发展思路和具体实施计划；介绍了中国在产的直升机、运输机，在产的直升机有直11（2吨级）、直9（4吨级）、直8（13吨级）系列，在产的运输机有运5、运7、运8、运12和农5系列；提出了改进生产一代、研制发展一代、预研攻关一代的发展思路，制定了直升机改进生产以直8、直9、直11为主，研制以6吨级直升机为主，预研以10吨级直升机为主的发展计划；运输机改进生产以运8、运12为主，研制以涡扇支线飞机为主，发展以大型运输机为主的实施计划；提出了突破直升机发动机、旋翼、传动、抗坠毁、复合材料关键技术的措施；指出直升机、运输机发展要坚持自主开发和国际合作、技术和贸易、军用和民用相结合，建议把直升机、运输机纳入国家长远发展规划。
彭冈
《中国工程科学》 2004年 第6卷 第9期 页码 77-80
塔带机浇筑混凝土的突出特点是供料连续，强度高，并具有仓面布料功能，但也存在预冷混凝土在输送中温度回升较大，如控制不当较易出现混凝土骨料分离现象等问题。如何确保塔带机浇筑混凝土既高速度，又高质量，是工程施工中必须解决的关键问题。文章结合三峡二期厂坝工程混凝土施工情况，探讨了塔带机浇筑大坝混凝土时的混凝土原材料质量控制、仓面配套设备、仓面施工工艺、设计方面的配合及设备管理等方面的要点。
卢锡城
《中国工程科学》 2000年 第2卷 第10期 页码 105-109
关键词： 体系结构 大规模并行处理机（MPP) 对称多处理机（SMP) 基于Cache—致性的非一致存储访问（CC-NUMA) 群机（duster) 超结点
薛海峰,向锦武,张晓谷,李书强
《中国工程科学》 2007年 第9卷 第9期 页码 58-62
采用多桨叶坐标转换和复数坐标 变换等方法，研究了变距/摆振耦合对直升 机空中共振的影响；推导出完全引入变距/ 摆振耦合的直升机空中共振分析公式利用系统的 特征值研究了直升机空中共振的动不稳定性， 得出变距/摆振耦合对直升机空中共振的影响 ；通过系统的特征向量与各自由度之间的相互 作用（能量关系）的研究，揭示了空中共振机理 ，以某型直升机为例进行了计算分析研究表明 ：正的变距/摆振耦合可以抑制旋翼/机体耦合 系统的动不稳定性，在同时存在挥舞/摆振耦合 和正的变距/摆振耦合时，直升机的旋翼/机体 耦合系统为绝对稳定。
饶绮麟
《中国工程科学》 2001年 第3卷 第4期 页码 82-87
介绍了新型破碎设备——外动颚大破碎比颚式破碎机及该系列产品的技术参数、性能特点；可用一段大破碎比破碎机取代传统流程中的两段或三段破碎，新型破碎设备的研制成功带来了破碎工艺的变革
陈克复,杨旭
《中国工程科学》 2012年 第14卷 第7期 页码 4-8
讨论了装备控制先进、车速在准高速以上的现代造纸机实现节能降耗的几个途径，即改进各操作单元的结构、实施先进的关键技术与装备及提高其抄造率和产品成品率来提高整机效率详细介绍了现代造纸机各操作单元的先进关键技术，以及这些关键技术对节能降耗的作用。通过分析现代造纸机在技术上仍存在的科技难题及我国的实际情况，提出研发国产现代造纸机的车速及幅宽的定位，并对我国研发及生产现代造纸机装备方面提出了合理的建议。
周建华
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第9期 页码 15-21
本文介绍了塔柱结构的整体施工程序，并详细分析了土建结构精度控制、金属结构及其埋件精度控制、混凝土温控防裂和安全控制等几个方面的施工重点与难点问题。同时，就塔柱结构在施工过程中采用的施工测量控制技术、薄壁混凝土温控防裂施工技术、高精混凝土连续快速施工技术、金属结构埋件施工技术、高空大跨度横梁结构施工技术等进行了系统的总结。上述施工技术的应用，不仅满足了塔柱高精度的施工要求，保证了塔柱施工的顺利进行，同时也为类似的高精混凝土的施工打下了坚实的基础。
邱章云,罗琛
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第9期 页码 102-107
戴志清
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第9期 页码 22-26
三峡升船机塔柱混凝土施工工期紧，精度要求高，为保证施工进度和质量，采用了液压自升式模板。本文重点介绍了三峡升船机塔柱混凝土液压自升式模板施工技术、自升式模板改进措施以及为满足自升式模板上升而在塔柱板梁、牛腿处进行的结构处理措施。实践证明，液压自升式模板施工技术的应用与改进满足了三峡升船机塔柱筒体混凝土的设计要求，有效地提高施工效率、节约了成本，保证了工程质量并提高施工的安全性，可为其他水电工程施工提供借鉴。
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第三届国际先进光刻技术研讨会
2019年10月17日
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