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基于AFM探针的纳米加工技术制备周期性纳米结构——沟槽和材料堆积形貌相结合 Article
耿延泉, 闫永达, 王继强, Emmanuel Brousseau, 孙彦文, 孙雅洲
《工程（英文）》 2018年 第4卷 第6期 页码 787-795 doi: 10.1016/j.eng.2018.09.010
本文提出了一种基于原子力显微镜（AFM）探针的加工技术制备周期性纳米结构的方法，该方法通过将加工得到的沟槽形貌和沟槽边缘的材料堆积形貌相结合得到周期性纳米结构。研究发现控制相邻沟槽的间距是保证周期性纳米结构质量的重要因素。实验结果表明，当相邻刻划轨迹间的进给量值等于单个沟槽两侧材料堆积峰值间的宽度时，可以通过本方法加工得到较高质量的周期性结构。加工得到的纳米结构周期性可以通过一维和二维快速傅里叶变换（FFT）算法进行评价。在检测得到周期结构的AFM 图像中，取其截面进行FFT并将幅频特性曲线归一化，在幅频特性曲线中用峰值部分面积与总体面积的比值来定量分析纳米结构的周期性。最后，对加工得到的周期性纳米结构产生的颜色化效应进行了研究，证明了其在防伪以及金属传感等领域有潜在的应用价值。
姚骏恩
《中国工程科学》 2003年 第5卷 第1期 页码 33-37
纳米科技是当今国际上的一个热点。文章对纳米科技作了简要介绍, 纳米测量和加工是纳米科技中的一个不可缺少的重要组成部分。叙述了发展纳米测量和纳米加工技术的两个主要途径：一是发展传统技术，主要是电子显微术以及最近发展起来的聚焦离子束（FIB）- 电子束数控加工中心；二是创造新的测量仪器，建立新原理和新方法，介绍了国内外电子显微镜和扫描探针显微镜这两类纳米测量分析仪器的发展指出我国电子显微仪器和扫描探针显微镜的开发和生产面临困境，应尽快建立和加强自己的电子显微仪器和扫描探针显微镜等纳米测量和纳米加工设备制造产业，并列入国家科技发展规划。
蒋洪奎,姚汤伟,胡礼广,沈亚强,虞献文
《中国工程科学》 2008年 第10卷 第7期 页码 173-179
蘸水笔刻蚀（dip-pen nanolithography ，DPN）技术是近年来发展起来的基于原子力显微镜（AFM）的一种 扫描探针加工技术文章具体分析了蘸水笔技术在不同阶段的作用机理，综合介绍了蘸水笔刻 蚀技术在近年来的进展，包括电化学DPN 技术、DPN 的多种加工模式、DPN 的复合加工及多探针的DPN 加工 等；分析了DPN的加工特点及其应用
基于超构表面等离激元透镜的高速并行近场直写纳米光刻系统 Article
胡跃强, 李苓, 王榕, 宋剑, 王鸿栋, 段辉高, 纪佳馨, 孟永钢
《工程（英文）》 2021年 第7卷 第11期 页码 1623-1630 doi: 10.1016/j.eng.2020.08.019
具有简单、高效、低成本和高灵活性等特点的纳米加工技术在纳米尺度基础研究和原型验证中不可或缺。研究已证明，采用表面等离激元的近场光刻技术（即等离激元光刻）是一种有前景的解决方案。基于高速旋转基底上高刚度被动纳米间隙控制的加工系统是其中一种高效率加工方案。但是，为了研发出新一代具有高分辨率且可靠高效的纳米加工技术，需要探索一种更小更稳定的纳米间隙和新型等离激元透镜及其并行加工方案。因此，本文设计了一套并行等离激元直写纳米光刻系统。该原型系统实现了约26 nm最小线宽的纳米结构并行光刻。该系统有望应用于高自由级、低成本的纳米加工技术，如平面光学元件和纳米机电系统。
艾兴
《中国工程科学》 2000年 第2卷 第11期 页码 40-51
在机械加工领域，切削加工是应用最广泛的一种加工方法，其发展方向主要是研究髙速切削，对超硬材料加工，主要是发展磨削、超声和放电等高效复合加工技术。文章介绍对髙效切削加工和高效复合加工技术的理论研究和技术开发与应用及所取得的重要成果，主要包括高速切削基础理论、陶瓷刀具材料研究新体系和超硬材料断续磨、超声和电火花的复合加工理论与技术的研究开发。生产实际应用结果表明，高效加工技术可以大幅度提髙加工效率，改善加工表面质量，降低加工成本。
介万奇
《中国工程科学》 2002年 第4卷 第6期 页码 1-4
从对材料成形加工技术进步的分析入手，论述了凝固技术在材料先进成形加工技术中的应用及其重要性。结合对几种凝固新技术的实例的分析指出，不论是传统材料加工过程“控形—控性（控制组织）—控制成本—控制污染”一体化新技术，还是作为新材料研制手段
袁俊
《中国工程科学》 2001年 第3卷 第10期 页码 82-85
2000年2月美国制定了 “国家纳米技术战略”，引起世界各国的巨大反响，日本、欧洲的工业先进 国家先后制定了纳米技术发展规划。纳米科技这一崭新的前沿学科，被视为新一轮材料革命的核心，在航空航 天领域将产生重大影响。文章综述了纳米技术的概念、纳米材料及纳米技术的研究情况。
瞿金平
《中国工程科学》 2011年 第13卷 第10期 页码 58-68
依据塑料工业发展低耗、高效、环保型“绿色”加工成型技术的重大需求，随着塑料塑化输运方法的不断演变与创新，在塑料动态加工成型方法和设备的基础上提出和研究了基于拉伸流变的塑料加工成型方法和技术研究结果表明，与传统技术及设备相比较，这种新技术及设备具有加工历程缩短50 %以上、加工能耗降低30 %左右、混合混炼效果好、制品质量提高、对物料适应性广等优异的技术性能。同时发现，新技术及设备在多相多组份复合材料、剪切热敏感高分子材料等物料体系的加工方面具有独特优势。
廖小云,唐倩,赵英,郑世泽
《中国工程科学》 2002年 第4卷 第5期 页码 75-78
对几何型面加工误差提出并建立了基于分形和小波的综合分析方法，可以精细分析几何型面加工误差的微细成分，并重构出型面轮廓加工误差曲线，以便进行公差与性能关系分析以及加工过程质量监控等相关工作。
纳米工程混凝土界面过渡区的纳米力学特征 Article
王欣悦, 董素芬, 李镇明, 韩宝国, 欧进萍
《工程（英文）》 2022年 第17卷 第10期 页码 99-109 doi: 10.1016/j.eng.2020.08.025
本研究利用纳米压痕试验和统计学方法研究了纳米填料对水泥石与骨料间界面过渡区（interfacial transition zone, ITZ纳米压痕试验结果表明，水泥石复合纳米填料可提高水泥石-骨料ITZ 内部水化程度，减少微孔隙和低密度水化硅酸钙（low-density calcium silicate hydrate, LD C-S-H此外，本研究表征了一种新的由于纳米中心效应诱导产生的低密度水化硅酸钙（nano-core induced low-density calcium silicate hydrate, NCILD C-S-H微观力学分析结果表明，ITZ水泥石复合纳米填料后产生的纳米中心-壳单元会增加LD C-S-H的堆积密度，并显著增强水化硅酸钙（calcium silicate hydrate, C-S-H）基本粒子之间的相互作用本研究为在纳米尺度上理解纳米填料对混凝土ITZ 的影响提供了理论基础。
蒋庄德,王琛英,杨树明
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第1期 页码 15-20
针对纳米器件中的典型几何特征，制备了3种纳米结构，采用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征。提出转换薄膜厚度为线宽的公称值、基于多层薄膜淀积技术制备纳米宽度结构的方法，制备出了具有名义线宽尺寸分别为20 nm、25 nm、35 nm的纳米栅线结构。用离线的图像分析算法对所制备的纳米线宽样板的线边缘粗糙度/线宽粗糙度（LER/LWR）以及栅线线宽的一致性进行了评估。实验表明所制备纳米线宽样板的栅线具有较好的一致性，LER/LWR值小，且具有垂直的侧壁。采用电子束直写技术（EBL）和感应耦合等离子体刻蚀（ICP）制备了名义高度为220 nm的硅台阶样板。采用聚焦离子束（FIB）制备了纳米单台阶和多台阶结构，并对Z方向的尺度与加工能量之间的关系进行了分析。
郭东明
《中国工程科学》 2011年 第13卷 第10期 页码 47-57
随着高端装备和产品的不断发展，对装备和产品制造的性能要求也越来越多和越来越高，涌现出一大批高性能指标要求的关键零部件，其加工已由以往的单纯几何形状和尺寸精度要求，跃升为以性能要求为主、性能与几何参数一体化的精密加工要求。这些高性能零件多呈精密复杂曲面、超高精度，以及材料超硬、超脆、超黏等难加工特征，其性能受几何、材料等多因素耦合作用，采用传统工艺进行精密加工制造十分困难，存在废品率高、加工效率低，特别是性能指标难以保证等难题从高端制造装备业的需求出发，提出并阐明了高性能零件的特点、分类以及数字化可控去除加工方式的内涵，在此基础上指出了四类高性能零件精密加工所涉及的关键问题，并着重介绍了这些问题的研究现状、存在的难点和可行的解决方案，为面向高性能要求的性能与几何参数一体化的加工理论、方法和工艺技术体系的建立提供参考，以解决高性能零件的精密制造难题。
关键词： 高性能 性能与几何参数一体化 精密加工 难加工材料 复杂曲面
王淀佐,姚国成
《中国工程科学》 2009年 第11卷 第4期 页码 9-13
介绍了中国古代的矿物加工技术，包括早期的石器和陶瓦制作，中国先民使用矿物制作器件，古代铁矿的矿冶加工利用，古代的湿法提铜，古代重选淘洗技术的使用和记述，古代的浮选技术，古代铜、铁矿冶生产规模等；也简要阐述了近现代中国选矿工业的兴起与科技发展，总结归纳了现代矿物加工科学技术的创新成就。
关键词： 中国古代的矿物加工技术 传承与发展
高楠,张春华,张宗俭
《中国工程科学》 2009年 第11卷 第4期 页码 36-38
对绿色表面活性剂在农药加工中的应用进行了简要介绍，对应用脂肪醇聚氧乙烯醚（AEO）、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐（AES）、α-烯基磺酸盐（AOS）、烷基糖苷（APG）的农药制剂进行了开发，并与传统表面活性剂进行比较，提出此类表面活性剂在农药加工中的应用对于环境保护具有重要意义。
纳米技术和纳米医学——肺癌诊断和治疗的希望之路 Review
尹伟, 潘峰, 朱俊杰, 徐军武, Diego Gonzalez-Rivas, Meinoshin Okumura, 唐志勇, 杨洋
《工程（英文）》 2021年 第7卷 第11期 页码 1577-1585 doi: 10.1016/j.eng.2020.04.017
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