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2018 2

2017 3

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2013 1

2009 1

2006 1

2005 1

2003 2

2002 5

2001 2

2000 1

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关键词

薄膜润滑 5

Cu(In 4

Ga)Se₂ 3

粘度 3

(GaxIn1−x)2O3薄膜；带隙可调谐；磁控溅射 1

300 M钢 1

Al₂O₃-M_xO_y 1

CCS 1

CO₂分离 1

Ga)Se₂光伏组件 1

Ni–Ti–Cu–V合金 1

PDT 1

VO₂薄膜 1

WC涂层 1

一水硬铝石 1

仅1吸收 1

低温 1

体硅键合技术 1

先进制造 1

光学透明 1

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检索范围：

排序：展示方式：

影响微电子机械系统成品率和可靠性和粘合力和磨擦力

王渭源

《中国工程科学》 2000年第2卷第3期页码 36-41

摘要：解决粘合的最好办法是：在MEMS微结构的表面涂以抗粘合薄膜，将成品器件在干燥气氛下封装。介绍了抗粘合薄膜的制备工艺和目前存在的问题。相比之下，具有高速运动的MEMS,其摩擦力问题更为复杂。应用抗粘合薄膜，解决了粘合，也降低了摩擦力，但摩擦依然存在。摩擦带来磨损，降低器件可靠性和寿命。寻找既抗粘合、又耐磨的薄膜，是解决高速运动MEMS可靠性和寿命的一个关键。

关键词：微电子机械系统粘合力摩擦力抗粘合薄膜耐磨损薄膜

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薄膜润滑径向轴承特性分析

曲庆文,柴山,姚福生

《中国工程科学》 2003年第5卷第6期页码 44-48

摘要：

薄膜润滑轴承的特性远不同于常规轴承，在考虑间隙对润滑剂产生的影响后，润滑剂的特性将发生较大的变化。由于这种变化，薄膜润滑的特性才被广泛地研究和重视。

关键词：薄膜润滑等效粘度径向轴承

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超音速火焰喷涂WC涂层替代电镀硬铬：疲劳和摩擦磨损性能

周克崧,邓春明,刘敏

《中国工程科学》 2009年第11卷第10期页码 48-54

摘要：以WC涂层在飞机起落架的应用作为研究背景，对300 M超高强钢基体上电镀硬铬和超音速火焰喷涂WC-17Co和WC-10Co4Cr涂层的疲劳及与Al—Ni—Bronze合金的摩擦磨损性能进行了研究10#航空液压油润滑下涂层与Al—Ni—Bronze合金的摩擦磨损表明，与电镀硬铬对磨时，Al—Ni—Bronze合金发生明显的磨损，同时因质量转移而导致电镀硬铬的质量显著增加；而WC涂层仅略有失重，相应地Al—Ni—Bronze合金的失重仅为与电镀硬铬层磨损失重的1/50～1/100。WC涂层与Al—Ni—Bronze合金的磨损机理主要为磨粒磨损；电镀硬铬与Al—Ni—Bronze合金的磨损机理主要为黏着磨损。

关键词： 300 M钢超音速火焰喷涂 WC涂层电镀硬铬疲劳摩擦磨损

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非线性弹性薄膜表面效应的尺寸相关性研究

黄殿武,连媛,李凯

《中国工程科学》 2006年第8卷第4期页码 54-59

摘要：

在Mindlin假设的前提下，考虑了几何非线性条件及表面效应的影响，建立了纳米尺度下尺寸相关的板状各向同性弹性薄膜模型；从哈密尔顿变分原理出发，导出了薄膜的控制方程，用公式明确阐述了由表面张力引起的符合经典板理论且与薄膜变形相关的残余膜力和弯矩；通过微小尺寸薄膜弯曲的算例，说明了表面效应与薄膜厚度的相关性，当薄膜厚度等于或者小于其内禀尺度时，表面效应对薄膜厚度表现出很强的敏感性。

关键词：弹性薄膜几何非线性表面效应内禀尺度尺度相关

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薄膜润滑研究的回顾与展望

雒建斌,张朝辉,温诗铸

《中国工程科学》 2003年第5卷第7期页码 84-89

摘要：

薄膜润滑是20世纪90年代以来广泛研究的新型润滑状态。它是界于弹流润滑和边界润滑之间的一种过渡润滑状态，有着自己独特的润滑规律。文章回顾了薄膜润滑的研究历史，包括薄膜润滑概念的提出、测试技术的发展、薄膜润滑的膜厚特性、润滑机理探索以及计算理论等方面的研究成果与主要进展。

关键词：薄膜润滑有序膜膜厚测量微结构

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一种磨损感知的持久化内存文件系统高效多粒度分配器 Research Article

余志旺1,张润宇1,杨朝树1,聂顺2,刘铎2

《信息与电子工程前沿（英文）》 2023年第24卷第5期页码 688-702 doi: 10.1631/FITEE.2200468

摘要：然而，由于持久化内存普遍存在写耐受度低的缺陷，现有持久化内存文件系统空间管理策略导致的不平衡写操作极易将底层持久化内存磨损穿，严重威胁数据可靠性。因此，本文提出一种磨损均衡感知的多粒度分配器（Wear-leveling-aware Multi-grained Allocator，简称WMAlloc），以实现持久化内存的磨损均衡，同时提高文件系统性能对于每次分配请求，WMAlloc可快速从相应粒度的最小堆中分配磨损较少的块。实验结果表明，与原始NOVA以及目前持久化内存文件系统最优秀的磨损均衡感知分配器DWARM相比，WMAlloc将持久化内存在4个工作负载下的平均使用寿命分别提高至4.11倍和1.81倍，将平均性能分别提高至

关键词：文件系统；持久化内存；磨损均衡；多粒度分配器

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超疏水SiO2/PS 薄膜于木材表面的构建

张明,王成毓

《中国工程科学》 2014年第16卷第4期页码 83-86

摘要：

通过溶胶-凝胶法一步合成疏水性且具备独特形貌的二氧化硅粒子，联合聚苯乙烯以滴涂的方式于木材表面仿生合成了稳定性超疏水薄膜。

关键词：超疏水木材表面滴涂法复合薄膜

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一水硬铝石氧化铝生产工艺创新

宋培凯

《中国工程科学》 2001年第3卷第8期页码 87-90

摘要：

论述了我国铝土矿的资源特点和氧化铝的生产现状，介绍了一水硬铝石管道化溶出新技术及实施效果，阐明了一水硬铝石溶出技术的发展方向和意义。

关键词：一水硬铝石氧化铝管道化溶出节能降耗磨损

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基于Cu(In,Ga)Se₂ 低成本薄膜的光伏技术的进展

Powalla Michael,Paetel Stefan,Hariskos Dimitrios,Wuerz Roland,Kessler Friedrich,Lechner Peter,Wischmann Wiltraud,Magorian Friedlmeier Theresa

《工程（英文）》 2017年第3卷第4期页码 445-451 doi: 10.1016/J.ENG.2017.04.015

摘要：

本文讨论了基于Cu(In,Ga)Se ₂ (CIGS) 复合薄膜半导体材料的光伏（PV）技术。

关键词：薄膜光伏太阳能柔性 Cu(In Ga)Se₂

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粘-温修正的等效粘度模型分析研究

曲庆文

《中国工程科学》 2005年第7卷第5期页码 49-52

摘要：

在等效粘度模型的基础上，考虑温度对润滑剂粘度的影响，建立了粘-温修正的等效粘度分析计算模型，并运用该模型进行薄膜润滑条件下的轴承性能分析计算，得到了不同参数下轴承性能的变化规律。

关键词：薄膜润滑粘度温度

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碱金属掺杂对CIGS 薄膜及电池器件的影响

孙云,林舒平,李伟,程世清,张运祥,刘一鸣,刘玮

《工程（英文）》 2017年第3卷第4期页码 452-459 doi: 10.1016/J.ENG.2017.04.020

摘要：通过分析由(NaF+KF)-PDT 导致的CIGS 表面结构及电学性能的改变，我们提出并解释了如下几个问题：①在低温沉积CIGS 薄膜过程中，Na 促进了CuInSe₂的优先形成，排挤Ga 向Mo 衬底扩散，造成CIGS 薄膜的分层现象；② Na 原子钝化CIGS 晶界及表面缺陷从而提高空穴载流子浓度的相关机制；③过渡层减薄提高了短路电流（J_SC

关键词：碱金属 Cu(In Ga)Se₂ 薄膜太阳能电池 PDT

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用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术

王渭源,王跃林

《中国工程科学》 2002年第4卷第6期页码 56-62

摘要：

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术，整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术，以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述，强调在器件研究开始时应考虑封装问题，具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定。

关键词：体硅键合技术薄膜密封技术微电子机械系统封装技术

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基于图案化 VO₂薄膜的透明热可调微波吸收器 Article

陆振刚, 张怡蕾, 王赫岩, 夏超, 刘云菲, 豆书亮, 李垚, 谭久彬

《工程（英文）》 2023年第29卷第10期页码 198-206 doi: 10.1016/j.eng.2022.10.005

摘要：本文提出了一种基于二氧化钒(VO₂)薄膜的透明热可调微波吸收器。同时，仅通过调控图案化VO₂薄膜的占空比即可改变实现近1吸收时的温度。所提出的基于VO₂薄膜的吸波器具有组成简单，光学透过率高，微波吸收性能热可调，调制深度大，温度调节范围可控等优点，因此有望应用于可调传感器、热发射器、调制器、热成像仪、辐射热测定器和光电器件中

关键词：可调微波吸收器 VO₂薄膜光学透明仅1吸收大调制深度