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用于微电子机械封装的体硅键合技术和薄膜密封技术

王渭源,王跃林

《中国工程科学》 2002年 第4卷 第6期   页码 56-62

摘要:

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术,以及这些技术用于微电子机械的密封作了评述,强调在器件研究开始时应考虑封装问题,具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定

关键词: 体硅键合技术     薄膜密封技术     微电子机械封装技术    

影响微电子机械成品率和可靠性和粘合力和磨擦力

王渭源

《中国工程科学》 2000年 第2卷 第3期   页码 36-41

摘要:

文章评述了影响微电子机械(MEMS)成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。粘合也发生在封装后器件中,当输入信号过冲时,由于Si片表面的化学状态将Si片粘合起来,称为“使用中粘合”。解决粘合的最好办法是:在MEMS微结构的表面涂以抗粘合薄膜,将成品器件在干燥气氛下封装。介绍了抗粘合薄膜的制备工艺和目前存在的问题。相比之下,具有高速运动的MEMS,其摩擦力问题更为复杂。

关键词: 微电子机械     粘合力     摩擦力     抗粘合薄膜     耐磨损薄膜    

面向维修的机械可靠度预测与仿真研究

黄良沛,尹喜云,岳文辉

《中国工程科学》 2007年 第9卷 第12期   页码 69-74

摘要: 机电产品在服役期间因零件失效而产生故障,重组维修破坏了原有的系统可靠性模型,因而需要对设备可靠性问题重新进行研究和评价。基于机电系统中零件的失效时间分布密度函数,研究了在重组维护过程中机电系统服役期间零件年龄结构的分布规律,发展了机电系统可靠性数学模型。通过仿真研究,探讨了系统服役期间年龄结构、可靠度和失效率的发展规律,定量地研究了失效时间分布密度函数的参数对系统可靠度的影响。这对于评估机械的可靠性和全生命周期的失效率,制定合理的维修策略具有重要意义。

关键词: 重组维修;可靠度预测;年龄分布;失效率    

封装天线技术

张跃平

《工程(英文)》 2022年 第11卷 第4期   页码 18-20 doi: 10.1016/j.eng.2021.08.012

基于LTCC技术集成曲折线天线的封装天线系统

Gang Dong, Wei Xiong, Zhao-yao Wu, Yin-tang Yang,gdong@mail.xidian.edu.cn

《信息与电子工程前沿(英文)》 2016年 第17卷 第1期   页码 67-73 doi: 10.1631/FITEE.1500167

摘要: 目的:基于LTCC工艺,设计工作于2.4 GHz频段范围且满足性能指标要求的集成封装天线,同时设计封装腔体结构实现电路芯片的集成。创新点:设计了一种曲折线天线结构用以实现系统的小型化。在封装层腔体内引入一种叠层多芯片组件结构,提高了整体集成度。通过添加通孔及馈线结构减少天线与封装层内部芯片间的电磁耦合。然后,针对封装天线集成电路芯片的需要,提出一种LTCC材料的多芯片组件结构(图8),同时在封装层内加入一定数量的金属通孔(图9),以减少天线与芯片间的电磁耦合。最后,将上述设计的天线与封装层结构整合在一起,并进行实际制作(图12),通过测试得到制作的封装天线系统的方向特性图(图13)和回波损耗特性曲线(图14)。结论:针对2.4 GHz频段的应用需要,提出了一种小型化高集成度的封装天线结构。该结构满足实际应用所需的性能指标,且能方便地通过LTCC工艺实现。

关键词: 封装天线;曲折线天线;多芯片组件;低温共烧陶瓷    

基于LTCC技术与曲折线天线集成的封装天线系统

Gang DONG,Wei XIONG,Zhao-yao WU,Yin-tang YANG

《信息与电子工程前沿(英文)》 2016年 第17卷 第1期   页码 67-73

摘要:

我们提出了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)技术的与弯折线天线集成的封装天线系统。该系统采用曲折线贴片天线,封装层和层压多芯片模块(MCM)来集成集成电路(IC)裸芯片。微带馈线用于减少贴片和封装之间的相互作用。为了减少电磁耦合,设计并分析了通孔结构。弯曲线天线的带宽为220 MHz,中心频率为2.4 GHz,最大增益为2.2 dB,辐射效率超过其工作频率的90%。整个系统具有20.2 mm×6.1 mm×2.6 mm的小尺寸,可通过标准LTCC工艺轻松实现。制作了集成了曲折线天线的封装天线系统,实验结果与仿真结果吻合良好。

关键词: 封装天线(AiP),弯曲线天线,多芯片模块(MCM),低温共烧陶瓷(LTCC),    

机械与运载工程领域颠覆性技术战略研究

杨艳明,赵云,邵珠峰,李道春,高增桂,张子龙,沈悦,王林军

《中国工程科学》 2018年 第20卷 第6期   页码 27-33 doi: 10.15302/J-SSCAE-2018.06.005

摘要:

通过文献研究和专家访谈等方法,提出机械与运载工程领域已有或潜在的颠覆性技术:仿生智能技术、无轴轮缘推进技术、智能无人飞行器技术、超回路列车技术和微机电系统,对这五项技术的创新性和颠覆性优势进行了分析,最后提出机械与运载领域颠覆性技术的发展建议。

关键词: 机械与运载工程     颠覆性技术     仿生智能技术     无轴轮缘推进技术     智能无人飞行器技术     超回路列车技术     微机电系统    

蒸汽压力和超疏水纳米复合涂层对微电子器件可靠性的影响 Article

樊学军,陈良彪,汪正平,Hsing-Wei Chu,张国旗

《工程(英文)》 2015年 第1卷 第3期   页码 384-390 doi: 10.15302/J-ENG-2015034

摘要:

由于高蒸汽压力可能导致微电子器件在高温和高湿度环境中失效,蒸汽压力的描述和模拟对研究微电子器件的湿度可靠性至关重要。但是,超疏水涂层提高微电子器件可靠性的具体机制目前仍没有完全被理解。本文首先介绍了微电子高分子材料蒸汽压力的现有的一些理论。笔者还根据实验结果论述了超疏水涂层在防止水蒸气进入器件方面的机制和有效性。

关键词: 蒸汽压力     湿度     半导体可靠性     微机电系统(MEMS)     超疏水     纳米复合涂层    

机械产品的信息化——面向机械装备的信息技术

屈梁生,胡兆勇

《中国工程科学》 2004年 第6卷 第11期   页码 20-28

摘要:

机械工业是我国的传统工业,机械装备技术直接影响和制约国民经济诸多领域的发展。信息科学是一门迅速发展的前沿学科,已经渗透到国民经济的各个领域。文章从机械产品的角度出发,讨论了如何用信息技术来提升和发展传统的机械产品,提出了机械产品信息化的内涵、特点与实现的步骤;结合作者过去的一些科研实践,重点分析了机械产品信息化过程的信息融合和特征提取两个技术关键;文章最后强调了理论开拓是产品拥有自主知识产权和核心技术的前提。

关键词: 信息化     机械工业     信息融合     特征提取    

中国电子雷管技术与应用

颜景龙

《中国工程科学》 2015年 第17卷 第1期   页码 36-41

摘要:

从2006年长江三峡围堰拆除爆破工程中首次在中国应用电子雷管以来,安全、可靠、精准、环保等电子雷管与生俱来的特点和优势已经获得爆破专家们的广泛认可。详细论述了中国电子雷管近十年来的技术发展和市场应用现状,对现阶段中国电子雷管的性能指标、标准体系、专利知识产权等方面进行了统计分析,从产业化推广应用和工程使用方面进行了总结,最后对电子雷管的发展给出了几点建议可以看出,随着国内工程爆破技术的发展进步和电子雷管产品的日趋成熟,电子雷管的应用优势和价值日益凸显,中国电子雷管的春天将会很快到来。

关键词: 电子雷管;数码电子雷管;数码雷管    

网络远程控制中机械臂的连续轨迹控制

郑桦,丛爽

《中国工程科学》 2008年 第10卷 第10期   页码 91-95

摘要:

探讨了点位控制在二自由度机械臂网络远程控制中的问题,将连续轨迹控制应用到基于关节坐标空间的机器人控制系统中,分析了在远程操控环境中实现连续轨迹控制所需要满足的条件,给出了最佳合成速度的求法,并进行了实际系统的远程控制实验,在期望时间内实现了连续、平滑的运动效果,证实了在网络远程系统的控制中采用连续轨迹控制能够获得更高的精度。

关键词: 远程控制     连续轨迹控制     机械系统    

工程机械控制与操纵系统的网络控制研究

李运华,杨桂林

《中国工程科学》 2005年 第7卷 第9期   页码 25-29

摘要:

简要综述了工程机械中控制与操纵系统的发展历程和关键技术;提出了基于现场总线控制的网络控制实现功率传输和运动控制与综合的新方案;以应用于上海磁悬浮铁路工程轨道梁搬运的工程机械的计算机控制系统为例,讨论了基于现场总线控制系统(FCS)和PC104车载工控机的车辆计算机网络控制系统的设计方法和控制策略;研究结果为大型车辆与工程机械的控制与操纵提供了新的实现途径。

关键词: 工程机械     控制     操纵     网络控制    

机械结构虚拟优化设计技术与应用研究

胡如夫,吴南星,孙庆鸿

《中国工程科学》 2004年 第6卷 第10期   页码 45-47

摘要:

虚拟优化设计是多学科先进知识形成的综合技术,是现代机械产品设计的发展方向。作为一种新的设计模式,应用该技术减少了产品开发中设计-试制-试验等过程的重复,设计人员可在虚拟可视化环境中对结构进行分析和优化,有利于缩短产品的设计周期,降低开发成本;分析了产品虚拟设计的特点,提出了机械结构虚拟优化设计的流程

关键词: 机械结构     虚拟设计     优化设计    

我国电子陶瓷技术发展的战略思考

周济,李龙土,熊小雨

《中国工程科学》 2020年 第22卷 第5期   页码 20-27 doi: 10.15302/J-SSCAE-2020.05.003

摘要:

电子陶瓷作为一类重要的战略新材料,是无源电子元件的核心材料,也是电子信息技术领域重要的技术前沿。随着电子信息技术日益走向集成化、智能化和微型化,无源电子元件日益成为电子元器件技术的发展瓶颈,电子陶瓷材料及其制备加工技术的战略地位日益凸显。我国电子陶瓷材料和元件领域已形成了很好的产业技术基础,但在高端材料和元器件方面的竞争力依然不足,一些关键材料技术、工艺技术及设备技术受制于人。

关键词: 电子陶瓷,无源电子元件,高端材料    

青岛胶州湾海底隧道施工及机械配套技术

马栋,谭忠盛

《中国工程科学》 2009年 第11卷 第7期   页码 45-52

摘要: 对钻爆法修建青岛胶州湾海底隧道的关键技术和大型施工机械配套进行了探讨。

关键词: 胶州湾海底隧道     钻爆法     施工     机械配套    

标题 作者 时间 类型 操作

用于微电子机械封装的体硅键合技术和薄膜密封技术

王渭源,王跃林

期刊论文

影响微电子机械成品率和可靠性和粘合力和磨擦力

王渭源

期刊论文

面向维修的机械可靠度预测与仿真研究

黄良沛,尹喜云,岳文辉

期刊论文

封装天线技术

张跃平

期刊论文

基于LTCC技术集成曲折线天线的封装天线系统

Gang Dong, Wei Xiong, Zhao-yao Wu, Yin-tang Yang,gdong@mail.xidian.edu.cn

期刊论文

基于LTCC技术与曲折线天线集成的封装天线系统

Gang DONG,Wei XIONG,Zhao-yao WU,Yin-tang YANG

期刊论文

机械与运载工程领域颠覆性技术战略研究

杨艳明,赵云,邵珠峰,李道春,高增桂,张子龙,沈悦,王林军

期刊论文

蒸汽压力和超疏水纳米复合涂层对微电子器件可靠性的影响

樊学军,陈良彪,汪正平,Hsing-Wei Chu,张国旗

期刊论文

机械产品的信息化——面向机械装备的信息技术

屈梁生,胡兆勇

期刊论文

中国电子雷管技术与应用

颜景龙

期刊论文

网络远程控制中机械臂的连续轨迹控制

郑桦,丛爽

期刊论文

工程机械控制与操纵系统的网络控制研究

李运华,杨桂林

期刊论文

机械结构虚拟优化设计技术与应用研究

胡如夫,吴南星,孙庆鸿

期刊论文

我国电子陶瓷技术发展的战略思考

周济,李龙土,熊小雨

期刊论文

青岛胶州湾海底隧道施工及机械配套技术

马栋,谭忠盛

期刊论文