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利用微机电系统技术制作弯曲结构表面无线无源柔性加速度计 Research Article
李晨1,2,贾蔓谷1,洪应平2,薛亚楠2,熊继军2
《信息与电子工程前沿（英文）》 2022年 第23卷 第5期 页码 801-809 doi: 10.1631/FITEE.2100236
夏敦柱,周百令,王寿荣
《中国工程科学》 2007年 第9卷 第8期 页码 66-68
介绍了在开环工作状态下硅微z轴谐振陀螺仪由于加工工艺缺陷所导致的误差机理。为减小陀螺仪初始电容差和抑制正交耦合误差，提出了一种闭环控制检测策略。重点分析了其力矩反馈器的电刚度效应并给出其线性数学模型表示式。通过对硅微z轴陀螺仪敏感模态的反馈力与谐振频率的关系分析，间接得出了在敏感方向上电负刚度与力矩器所施电压的内在联系，并在实验上进一步验证电刚度效应。这将为下一步闭环控制方案的设计奠定重要基础。
蒸汽压力和超疏水纳米复合涂层对微电子器件可靠性的影响 Article
樊学军,陈良彪,汪正平,Hsing-Wei Chu,张国旗
《工程（英文）》 2015年 第1卷 第3期 页码 384-390 doi: 10.15302/J-ENG-2015034
由于高蒸汽压力可能导致微电子器件在高温和高湿度环境中失效，蒸汽压力的描述和模拟对研究微电子器件的湿度可靠性至关重要。为了最大程度地减小湿度的影响，可以在器件外表面涂抹一层超疏水涂层，以防止水分渗入。但是，超疏水涂层提高微电子器件可靠性的具体机制目前仍没有完全被理解。本文首先介绍了微电子高分子材料蒸汽压力的现有的一些理论。笔者还根据实验结果论述了超疏水涂层在防止水蒸气进入器件方面的机制和有效性。本文重点讨论了两个理论模型：基于微观力学的全场蒸汽压力模型和对流扩散模型。这两种方法都已成功用于说明无涂层样本的实验结果。但是，当器件上涂有超疏水纳米复合涂层时，笔者仍发现器件质量增加，其原因很可能是水蒸气可以透过超疏水涂层渗入。这种现象导致人们对超疏水涂层的有效性产生怀疑。根据理论和实验结果，笔者认为需要提出一种新的理论来理解水蒸气如何渗透超疏水涂层。
混合动力挖掘机电动回转系统通信错误状态下的分布式容错策略 Article
Da-hui GAO, Qing-feng WANG, Yong LEI
《信息与电子工程前沿（英文）》 2017年 第18卷 第7期 页码 941-954 doi: 10.1631/FITEE.1601021
钟群鹏,武淮生,张峥,田永江
《中国工程科学》 1999年 第1卷 第1期 页码 43-48
从认识论的高度阐明失效、失效分析和预防在人类科学技术发展中的属性、地位和作用。失效分析和预防具有多学科交叉综合的属性，它的发展依赖于应用学科、应用基础学科、甚至于基础学科的发展，但又对它们的发展起重要反转作用和影响。因此，它是科学技术第一生产力中最积极、最活跃的因素之一。从方法论的角度进一步叙述了失效分析与失效预防之间的辩证关系。失效分析是一种事后的逆向思维过程，它是从异常现象（结果）到因素（模式、原因和机理）的反向科技探索，而失效预防（安全评定）则是从因素到结果的一种事先的正向思维过程。逆向思维与正向思维协同并用，事后分析转化为事先分析，构成科学技术研究活动和科技发展的全过程，两者不可偏废。综述了失效分析和失效预防（安全评定）的主要内容、技术、方法和它们的发展趋势，并提出它们与无损检测技术之间的关系。
基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管微机电系统微力传感器 Article
高文迪, 乔智霞, 韩香广, 王小章, Adnan Shakoor, 刘存朗, 卢德江, 杨萍, 赵立波, 王永录, 王久洪, 蒋庄德, 孙东
《工程（英文）》 2023年 第21卷 第2期 页码 61-74 doi: 10.1016/j.eng.2022.06.018
本文介绍了一种基于横向运动栅极场效应晶体管（LMGFET）的新型微型力传感器。文中提出了一种用于小型LMGFET器件性能评估的电气模型，与以前的模型相比，其具有更高精度。由此设计了一种新型的三明治夹层结构，该结构由跨轴解耦Au-栅极阵列层和两个柔性光刻胶SU-8 层组成。通过所提出的双差分传感布置，LMGFET工作时受垂直干扰产生的输出电流被大大消除，所提出传感器的相对输出误差从4.53%（传统差分结构）降低到0.01%。本文还为所提出的传感器开发和模拟了一个可行的制造工艺过程。基于LMGFET的力传感器的灵敏度为4.65 μA∙nN−1，可与垂直可动栅极场效应晶体管（VMGFET）器件相媲美，器件的非线性度提高了0.78%，测量范围扩大为±5.10 μN。上述分析能够为LMGFET器件的电气和结构参数提供全面的设计优化指导，并证明了所提出的传感器在生物医学显微操作应用中具有出色的力传感潜力。
李宝清,陆德仁,王渭源
《中国工程科学》 2000年 第2卷 第2期 页码 36-40
文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构，由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。
张福学,毛旭,张伟
《中国工程科学》 2006年 第8卷 第8期 页码 23-27
报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构（硅摆）的设计、制作与封装工艺，用仿真器测试了旋转体的角速率。
用于可持续电子器件的软物质材料研究进展 Review
Moon Jong Han, Dong Ki Yoon
《工程（英文）》 2021年 第7卷 第5期 页码 564-580 doi: 10.1016/j.eng.2021.02.010
罗善明,郭迎福,陈安华,余以道,陈立锋
《中国工程科学》 2005年 第7卷 第7期 页码 76-80
介绍了磁力金属带传动的工作原理，分析和探讨了其有效拉力、线速度及弹性滑动率等传动性能，并通过实验测定了相关性能参数。结果表明，磁力金属带传动主要是利用磁场吸引力与初拉力的耦合作用来增加摩擦力进而传递运动和动力的，其传动效率可达95%～98%，而弹性滑动率一般在0.1%以下。
Meng WANG, Jia-qiang YANG, Xiang ZHANG, Chang-sheng ZHU
《信息与电子工程前沿（英文）》 2018年 第19卷 第4期 页码 569-581 doi: 10.1631/FITEE.1601390
关键词： 永磁同步电机；离散电流控制器；复矢量
王连成
《中国工程科学》 2001年 第3卷 第6期 页码 15-18
从分析工程的基本内容、性质和特征人手，引出了工程系统的概念，接着应用一般系统论思想讨论了工程系统论的研究对象和研究方法，并论述了它在整个工程科学体系中的元学科地位。
标题 作者 时间 类型 操作
基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管微机电系统微力传感器
高文迪, 乔智霞, 韩香广, 王小章, Adnan Shakoor, 刘存朗, 卢德江, 杨萍, 赵立波, 王永录, 王久洪, 蒋庄德, 孙东
期刊论文
京公网安备 11010502051620号
