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2018 162

2017 172

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2011 87

2010 104

2009 87

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2006 82

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关键词

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智能制造 40

2020 33

颠覆性技术 31

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能源 23

农业科学 22

关键技术 21

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可持续发展 12

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利用微机电系统技术制作弯曲结构表面无线无源柔性加速度计 Research Article

李晨1,2,贾蔓谷1,洪应平2,薛亚楠2,熊继军2

《信息与电子工程前沿（英文）》 2022年第23卷第5期页码 801-809 doi: 10.1631/FITEE.2100236

摘要：提出一种LC无线无源柔性加速度计，解决测量弯曲结构表面加速度的困难。该加速度计由柔性聚酰亚胺（PI）衬底和平面螺旋电感（厚度为300 nm）组成，采用微机电系统（MEMS）技术，可任意弯曲或折叠，可牢固地粘附在具有弯曲结构的物体表面。利用射频无线传输原理，通过改变加速度计与天线之间的距离来测量加速度信号。与带导线的加速度计相比，该加速度计可以防止导线在振动过程中脱落，从而延长其使用寿命。通过搭建实验平台，当天线与加速度计之间的距离为5 mm时，在弯曲结构表面展示了加速度计在20至100 m/s2加速度下的传感能力。结果表明，加速度和峰峰值输出电压接近线性，加速度计灵敏度高达0.27 mV/(m•s−2)。此外，该加速度计的最大误差小于0.037%。

关键词：弯曲结构表面；柔性加速度计；微机电系统（MEMS）技术；无线非接触式测量

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变面积结构微机械电容式加速度传感器

李宝清,陆德仁,王渭源

《中国工程科学》 2000年第2卷第2期页码 36-40

摘要：

文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构，由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。通过测量差分电容的变化，可以得到加速信号的大小。理论分析表明加速度响应信号随面积呈线性变化，而与质量块及定电极的间距无关。加速度传感器的制作采用了基于金属电镀的准LIGA技术，设计量程为20m/s²。测量结果表明，加速度传感器量程为20m/s²，灵敏度为58.1mV/(m·s^-2)，非线性为4%FS。讨论了器件线性度不够理想的原因。

关键词：电容加速度传感器变面积

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自然对流气体的摆特性及其在传感器中应用

张福学

《中国工程科学》 2002年第4卷第8期页码 50-53

摘要：分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力，给出浮升力与温度变化的关系式。试验结果表明，与固体摆、液体摆一样，利用气体摆原理亦能检测加速度和倾角。

关键词：气体的摆特性倾角传感器加速度计

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非爆炸且不可还原农用硝酸铵的热稳定性评估

汪旭光,沈立晋

《中国工程科学》 2004年第6卷第11期页码 53-57

摘要：

绍了一种测试含能材料热稳定性的新方法——加速度量热仪，并用此法研究了硝酸铵和非爆炸且不可还原农用硝酸铵的热分解过程，得到了绝热分解温度与压力随时间的变化、自加热速率与分解压力随温度的变化曲线，计算了分解动力学参数表观活化能和指前因子，讨论了放热反应系统的热惰性因子对测试结果的影响，表明非爆炸且不可还原农用硝酸铵具有良好的热稳定性、安全性及其热稳定性的提高是爆炸特性得以消除的原因。

关键词：农用硝酸铵非爆炸性不可还原性加速度量热仪热稳定性

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城市立交桥爆破拆除塌落振动的测量与分析

胡进军,杨永强,管英珺

《中国工程科学》 2014年第16卷第11期页码 90-95

摘要：

为分析城市立交桥爆破拆除时结构构件塌落造成的地面振动的特征，介绍了某城市典型立交桥的爆破拆除中地面振动的测量方法，并基于观测点实测数据对地面振动的加速度峰值分析结果表明：塌落造成的竖向地振动幅值比水平分量大，但是其随着距离增大迅速衰减，因此在距离塌落处较近的区域应该考虑竖向地振动的影响；桥梁结构多次连续塌落会导致出现地面振动的叠加，采取减隔振措施可以降低加速度峰值，同时也会使得加速度的峰值频率降低、持时增加；爆破和塌落振动并未对保留桥梁结构造成损伤，说明爆破拆除是一种安全、高效的拆除方法。

关键词：爆破拆除城市立交桥塌落地面振动加速度

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中国仪器仪表工程科技2035发展趋势研究

王雪,张莉

《中国工程科学》 2017年第19卷第1期页码 103-107 doi: 10.15302/J-SSCAE-2017.01.015

摘要：

仪器仪表工程科技是智能制造、科学研究、环境监测、医疗健康、国防建设等必不可少的基础技术和装备核心。本文分析了仪器仪表领域2035年的发展目标，围绕新型仪器仪表的数字化、智能化、网络化的发展趋势，从智能仪器仪表、医疗仪器和微机电系统（MEMS）三个领域阐述了未来我国仪器仪表工程科技领域的发展方向及关键技术

关键词：仪器仪表智能仪器仪表医疗仪器微机电系统趋势分析

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矿井提升机绳系合理激励加速度反演分析与设计

彭佑多,刘德顺,朱萍玉,张永忠,郭迎福

《中国工程科学》 2002年第4卷第4期页码 64-68

摘要：

提升绳系的激励加速度决定着提升容器的乘坐舒适性和提升钢绳中动张力的大小，过大的动张力将导致滑绳（摩擦提升）或断绳（缠绕式提升）。基于提升钢绳为连续弹性杆的条件，建立了绳系的偏微分方程，采用特性线数值分析方法，以满足提升容器的乘坐舒适性和提升钢丝绳产生较小动张力为目标，对矿井提升机绳系要求的合理激励加速度曲线进行了反演分析与设计。

关键词：提升钢丝绳系激励加速度乘坐舒适性动张力反演设计

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基于神经网络的固定时间约束下外骨骼机器人加速度重构方法 Research

薛涛1,王子威1,张涛1,白鸥2,张萌3,韩斌4

《信息与电子工程前沿（英文）》 2020年第21卷第5期页码 649-808 doi: 10.1631/FITEE.1900418

摘要：精准的加速度信号采集对机械外骨骼系统十分重要，但其难以通过传感器系统直接测量。现有基于重构算法的加速度获取方法能够保证重构误差的有限时间收敛和扰动抑制，但忽略了误差约束和初始状态无关方法。为解决该问题，提出一种基于新型径向基神经网络的误差约束下的固定时间重构算法，以实现高性能的加速度信号估计。与此同时，设计一种分数阶滑模控制律，以实现固定时间收敛；为进一步提升系统鲁棒性，使用自适应权重矩阵构建的径向基神经网络近似和消除完全未知的扰动。

关键词：加速度重构；固定时间收敛；约束控制；障碍李雅普诺夫函数；初始状态无关方法；外骨骼机器人

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机械与运载工程领域颠覆性技术战略研究

杨艳明,赵云,邵珠峰,李道春,高增桂,张子龙,沈悦,王林军

《中国工程科学》 2018年第20卷第6期页码 27-33 doi: 10.15302/J-SSCAE-2018.06.005

摘要：

通过文献研究和专家访谈等方法，提出机械与运载工程领域已有或潜在的颠覆性技术：仿生智能技术、无轴轮缘推进技术、智能无人飞行器技术、超回路列车技术和微机电系统，对这五项技术的创新性和颠覆性优势进行了分析，最后提出机械与运载领域颠覆性技术的发展建议。

关键词：机械与运载工程颠覆性技术仿生智能技术无轴轮缘推进技术智能无人飞行器技术超回路列车技术微机电系统

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一种飞机装配用便携式非接触轮廓扫描系统

梁冰, 刘巍, 刘坤, 周孟德, 张洋, 贾振元

《工程（英文）》 2022年第15卷第8期页码 207-214 doi: 10.1016/j.eng.2020.09.017

摘要：为实现大型飞机零部件高反光曲面轮廓的扫描测量，本文提出一种兼顾精度与效率的非接触式自动化测量系统和方法。首先，以距离传感器辅助摄影测量，建立一种非接触式三维坐标复合测量系统，避免被测表面高反光对摄影测量精度的影响。其次，构建一种轮廓信息驱动的形面自动扫描方法和策略，在距离传感器有效量程内实现形面的非接触快速扫描与轮廓重建。最后，在某型号飞机平尾升降舵（尺寸约1760 mm × 460 mm）装配过程中对所提系统及方法进行现场试验与精度分析。实验表明：整个测量过程用时仅208 s，形面轮廓重建精度优于0.121 mm，因此，鉴于大型飞机装配过程中形面轮廓的高精度和高效率测量要求，所提系统及方法具有广阔应用前景。

关键词：飞机测试三坐标测量轮廓重建自动扫描扫描策略

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大力测量技术的新进展——附着式超轻型大力传感器

沈久珩

《中国工程科学》 2001年第3卷第10期页码 22-27

摘要：文章围绕重型大力传感器的微型化问题论述了重型装备大力测量的意义、特征及发展，讨论了大力分流测量的物理模型，介绍了作者发明的超轻型附着式大力传感器及其工程应用。

关键词：重型装备大力传感器支承式附着式电阻应变计分流测量

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基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管微机电系统微力传感器 Article

高文迪, 乔智霞, 韩香广, 王小章, Adnan Shakoor, 刘存朗, 卢德江, 杨萍, 赵立波, 王永录, 王久洪, 蒋庄德, 孙东

《工程（英文）》 2023年第21卷第2期页码 61-74 doi: 10.1016/j.eng.2022.06.018

摘要：由此设计了一种新型的三明治夹层结构，该结构由跨轴解耦Au-栅极阵列层和两个柔性光刻胶SU-8 层组成。通过所提出的双差分传感布置，LMGFET工作时受垂直干扰产生的输出电流被大大消除，所提出传感器的相对输出误差从4.53%（传统差分结构）降低到0.01%。基于LMGFET的力传感器的灵敏度为4.65 μA∙nN−1，可与垂直可动栅极场效应晶体管（VMGFET）器件相媲美，器件的非线性度提高了0.78%，测量范围扩大为±5.10上述分析能够为LMGFET器件的电气和结构参数提供全面的设计优化指导，并证明了所提出的传感器在生物医学显微操作应用中具有出色的力传感潜力。

关键词：微力传感器横向运动栅极场效应管柔性光刻胶SU-8 生物医学显微操作

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蒸汽压力和超疏水纳米复合涂层对微电子器件可靠性的影响 Article

樊学军,陈良彪,汪正平,Hsing-Wei Chu,张国旗

《工程（英文）》 2015年第1卷第3期页码 384-390 doi: 10.15302/J-ENG-2015034

摘要：为了最大程度地减小湿度的影响，可以在器件外表面涂抹一层超疏水涂层，以防止水分渗入。但是，超疏水涂层提高微电子器件可靠性的具体机制目前仍没有完全被理解。

关键词：蒸汽压力湿度半导体可靠性微机电系统(MEMS) 超疏水纳米复合涂层

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硅微z轴谐振陀螺仪负电刚度效应分析及实验验证

夏敦柱,周百令,王寿荣

《中国工程科学》 2007年第9卷第8期页码 66-68

摘要：重点分析了其力矩反馈器的电刚度效应并给出其线性数学模型表示式。

关键词：硅微z轴陀螺仪负电刚度力矩反馈器微机电系统

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微系统研究的思考和单芯片RF-MEMS研究进展

钟先信,余文革,李晓毅,巫正中,刘积学,陈帅,邵小良

《中国工程科学》 2004年第6卷第7期页码 21-25

摘要：

微光机电一体化系统简称微系统，是当今技术发展的前沿领域之一。微系统技术的发展将大大地促进许多产品或装置微型化、集成化和智能化，成倍地提高器件和系统的功能密度、信息密度与互连密度，大幅度地节能降耗，有广阔的应用领域和市场。文章阐述了微系统研究的意义以及微系统基础研究的重要性，概述了用于无线通信设备的MEMS器件的性能，指出了MEMS技术是最终实现单芯片机电一体化无线收发系统的根本途径之一，介绍了用于无线通信网络的单芯片机电一体化的微系统研究进展情况