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硅微z轴谐振陀螺仪负电刚度效应分析及实验验证

夏敦柱,周百令,王寿荣

《中国工程科学》 2007年第9卷第8期页码 66-68

摘要：

介绍了在开环工作状态下硅微z轴谐振陀螺仪由于加工工艺缺陷所导致的误差机理。为减小陀螺仪初始电容差和抑制正交耦合误差，提出了一种闭环控制检测策略。重点分析了其力矩反馈器的电刚度效应并给出其线性数学模型表示式。通过对硅微z轴陀螺仪敏感模态的反馈力与谐振频率的关系分析，间接得出了在敏感方向上电负刚度与力矩器所施电压的内在联系，并在实验上进一步验证电刚度效应。这将为下一步闭环控制方案的设计奠定重要基础。

关键词：硅微z轴陀螺仪负电刚度力矩反馈器微机电系统

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旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

张福学,毛旭,张伟

《中国工程科学》 2006年第8卷第8期页码 23-27

摘要：

报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构（硅摆）的设计、制作与封装工艺，用仿真器测试了旋转体的角速率。模拟试验和性能测试表明，该陀螺结构原理正确，可用于敏感旋转体的偏航或俯仰角速度，以及旋转体自身的角速度。

关键词：硅各向异性腐蚀角速度仿真器

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一种新型转子式陀螺的分辨率为0.47″的转子微偏转角度检测方法 Article

Hai LI, Xiao-wei LIU, Rui WENG, Hai-feng ZHANG

《信息与电子工程前沿（英文）》 2017年第18卷第5期页码 591-598 doi: 10.1631/FITEE.1500454

摘要：差分电容检测被广泛应用于振动陀螺仪质量块的位移测量，然而由于结构、理论以及接口电路等因素的限制其在转子式陀螺所需的转子偏转角度检测方面还尚未取得较高分辨率。本文提出了一种差分电容检测结构，用以测量一种新型转子式陀螺转子的偏转角度。本文建立了结构电容与转子偏转角度之间关系的数学模型，分析了差分电容与结构参数之间的关系，并获得了初步优化的尺寸参数。对陀螺仪的转台测试结果表明，该角度检测结构的最小可分辨的偏转角度小于0.47″（0.00013°），三次多项式补偿后检测结构的非线性可达0.33%，并可进一步提高。结果表明该检测结构和电路有助于实现该陀螺仪的高精度。

关键词：微角度检测；差分电容结构；转子式陀螺

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提高硅微谐振系统性能的一项有效措施

夏敦柱,王寿荣,周百令

《中国工程科学》 2006年第8卷第10期页码 71-74

摘要：

介绍了硅微谐振器系统的工作原理，重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。

关键词：直接数字合成(DDS) 硅微谐振器 AD9954 数字信号处理(DSP)

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微合金钢回顾与展望

王仪康

《中国工程科学》 2000年第2卷第2期页码 77-82

摘要：微合金钢就是这些“高技术钢材”中用量最大的一种。在过去十年，我国针对大型露天矿重型设备、高压输送管线和制造运输集装箱需要发展微合金钢的经验表明，它是在高技术条件下生产的高经济效益钢材。展望21世纪，微合金钢由于有利于环境保护又有技术发展深度，在我国高压输气管线、造船和建筑钢结构方面还会有进一步发展。应列为创新项目，重点扶植、注意跟踪、及时开发，以带动钢铁工业技术改造。

关键词：微合金钢控制轧制管线钢板耐候钢板 SUF钢板环境保护材料

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Z源逆变器在异步电动机中的应用

朱红,祝龙记,夏若飞

《中国工程科学》 2014年第16卷第3期页码 86-91

摘要：本文采用IFOC技术来控制异步电机的速度大小，并使用Z源逆变器，即在逆变器主电路前加上一对阻抗（LC）网络，通过控制直通占空比，可以实现升/降压功能、提高异步电机的效率。

关键词： IFOC 异步电机 Z源逆变器

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硅及硅基半导体材料中杂质缺陷和表面的研究

屠海令

《中国工程科学》 2000年第2卷第1期页码 7-17

摘要：

随着超大规模集成电路设计线宽向深亚微米级（＜0.5μm）和亚四分之一微米级（＜0.25μm）发展，对半导体硅片及其它硅基材料的质量要求越来越高，研究上述材料中各种杂质的行为，控制缺陷类型及数量文章阐述了深亚微米级和亚四分之一微米级集成电路用大直径硅材料中铁、铜金属和氧、氢、氮非金属杂质元素的行为，点缺陷及其衍生缺陷的本质与控制方法，硅片表面形貌、表面污染与检测方法的研究热点。同时还介绍了外延硅、锗硅及绝缘体上硅（SOI）等硅基材料的特性、制备及工艺技术发展趋势，展望了跨世纪期间硅及硅基材料产业发展的技术经济前景。

关键词：硅片硅外延片锗硅绝缘体上硅杂质行为缺陷控制表面质量

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电子级多晶硅的生产工艺

梁骏吾

《中国工程科学》 2000年第2卷第12期页码 34-39

摘要：

就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氣氢硅法、四氣化硅法、二氣二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比；对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较介绍了用三氣氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1000t/a级的电子级多晶硅生产。

关键词：多晶硅三氣氢硅法硅烷法流程生产

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Exergy analysis of R1234ze(Z) as high temperature heat pump working fluid with multi-stage compression

WANG, R.Z. WANG

《能源前沿（英文）》 2017年第11卷第4期页码 493-502 doi: 10.1007/s11708-017-0510-6

摘要： In this paper, the simulation approach and exergy analysis of multi-stage compression high temperature heat pump (HTHP) systems with R1234ze(Z) working fluid are conducted. Both the single-stage and multi-stage compression cycles are analyzed to compare the system performance with 120°C pressurized hot water supply based upon waste heat recovery. The exergy destruction ratios of each component for different stage compression systems are compared. The results show that the exergy loss ratios of the compressor are bigger than that of the evaporator and the condenser for the single-stage compression system. The multi-stage compression system has better energy and exergy efficiencies with the increase of compression stage number. Compared with the single-stage compression system, the coefficient of performance (COP) improvements of the two-stage and three-stage compression system are 9.1% and 14.6%, respectively. When the waste heat source temperature is 60°C, the exergy efficiencies increase about 6.9% and 11.8% for the two-stage and three-stage compression system respectively.

关键词： multi-stage compression high temperature heat pump heat recovery exergy destruction R1234ze(Z) working fluid

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基于Z数的TODIM与TOPSIS方法 None

Renato A. KROHLING, André G. C. PACHECO, Guilherme A. dos SANTOS

《信息与电子工程前沿（英文）》 2019年第20卷第2期页码 283-291 doi: 10.1631/FITEE.1700434

摘要：提出一种针对多标准决策问题处理Z数的方法。使用模糊数A和B的有序对Z=(A, B)定义Z数，其中A是兴趣变量的语言值，B是A的概率测度语言值。将Z数转化为模糊数，Z-TODIM和Z-TOPSIS分别是模糊TODIM和模糊TOPSIS的直接扩展。将提出的方法应用于两个案例并与使用精确数的标准方法比较，结果证明其可行。

关键词：多标准决策；TODIM；TOPSIS；模糊数；Z数

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快Z-箍缩——有前景的聚变能源新途径

彭先觉,华欣生

《中国工程科学》 2008年第10卷第1期页码 47-53

摘要：

简要介绍了快Z-箍缩的基本概念；综述了快Z-箍缩等离子体研究及其作为高能密度物理与惯性约束聚变（ICF），尤其作为低成本聚变能源研究的最新进展；探讨了快Z-箍缩驱动ICF作为聚变能源可能遇到的技术问题及应用前景。

关键词：快Z-箍缩内爆高能密度物理惯性约束聚变聚变能源

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球碟转子式微陀螺自适应快速启动技术 Article

Xiao-wei LIU, Rui WENG, Hai LI, Hai-feng ZHANG

《信息与电子工程前沿（英文）》 2017年第18卷第9期页码 1430-1436 doi: 10.1631/FITEE.1600035

摘要：转速是影响转子式微陀螺性能的关键因素，因此转子式微陀螺必须工作在较高转速下。为缩短转子式微陀螺的启动时间，提出了一种适用于球碟转子式微陀螺的新型驱动系统。该系统以微控制器为核心。

关键词：转子式陀螺；电磁驱动；快速启动；分时复用算法；闭环控制

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Z干扰信道下非正则信号的最佳设计策略 Article

Dan LI, Shan WANG, Fang-lin GU

《信息与电子工程前沿（英文）》 2017年第18卷第11期页码 1900-1912 doi: 10.1631/FITEE.1700030

摘要：本文提出一种用于在干扰被视为加性高斯噪声的假设下在Z干扰信道（z-interference channel, Z-IC）上实现非正则高斯信号（IGS）的Pareto边界（可实现速率区域的边界）。

关键词： Z干扰信道；非正则信号；和速率；帕累托边界；协方差；伪协方差

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耗散陀螺系统的李雅普诺夫函数构造：剩余能量函数方法 Personal View

Cem CİVELEK, Özge CİHANBEĞENDİ

《信息与电子工程前沿（英文）》 2020年第21卷第4期页码 629-634 doi: 10.1631/FITEE.1900014

摘要：在自由度为4、张量有逆变（右上标）和协变（右下标）形式的耗散陀螺系统中，使用二阶线性微分方程建立拉格朗日耗散模型，即{L, D}模型。通过系统的{L, D}模型确定广义元素。

关键词：李雅普诺夫函数；剩余能量函数；耗散陀螺系统稳定性

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大型重载支承轴的疲劳裂纹时间序列诊断分析

李学军,宾光富,王裕清

《中国工程科学》 2006年第8卷第4期页码 50-53

摘要：

大型重载支承轴隐蔽部位由于发生不可观测的突发性疲劳断裂，严重影响正常生产，给企业带来重大经济损失；分析这类支承轴的结构特点与振动信号特征之间的关系，运用时序分析方法对振动信号进行建模，并采用残差σa2和归一化残差平方和NRSS作为识别疲劳裂纹状态的特征指标，有效诊断出了支承轴的疲劳裂纹程度msubsup>σa2和NRSS作为特征指标的时序分析方法对大型重载支承轴隐蔽部位的疲劳裂纹状态进行诊断

关键词：大型重载支承轴隐蔽部位疲劳裂纹时间序列