Search | Engineering

订阅投稿

首页工程期刊工程焦点工程成就工程前沿关于我们 English

资源类型

期刊论文 45

会议视频 1

年份

2023 3

2022 5

2021 4

2020 4

2019 6

2018 2

2017 1

2016 1

2015 2

2014 1

2013 1

2012 1

2007 3

2006 3

2005 3

2002 1

2000 5

展开︾

关键词

多晶硅 3

晶体硅太阳电池 2

硅基集成电路；毫米波；超宽带；变压器；低噪声放大器；倍频器；分频器；混频器 2

AAC 1

AD9954 1

CCSS （CoCentric system studio） 1

DX桩 1

Engineering期刊工作 1

GaAs基微结构材料 1

PBO纤维片材 1

PHEMT 1

SoC 1

System C 1

TRIP钢 1

n-Si 1

“彩虹”捕获 1

丁醇 1

三氣氢硅法 1

不确定性数学（UM） 1

展开︾

检索范围：

排序：展示方式：

硅及硅基半导体材料中杂质缺陷和表面的研究

屠海令

《中国工程科学》 2000年第2卷第1期页码 7-17

摘要：

随着超大规模集成电路设计线宽向深亚微米级（＜0.5μm）和亚四分之一微米级（＜0.25μm）发展，对半导体硅片及其它硅基材料的质量要求越来越高，研究上述材料中各种杂质的行为，控制缺陷类型及数量文章阐述了深亚微米级和亚四分之一微米级集成电路用大直径硅材料中铁、铜金属和氧、氢、氮非金属杂质元素的行为，点缺陷及其衍生缺陷的本质与控制方法，硅片表面形貌、表面污染与检测方法的研究热点。同时还介绍了外延硅、锗硅及绝缘体上硅（SOI）等硅基材料的特性、制备及工艺技术发展趋势，展望了跨世纪期间硅及硅基材料产业发展的技术经济前景。

关键词：硅片硅外延片锗硅绝缘体上硅杂质行为缺陷控制表面质量

HTML PDF 收藏

电子级多晶硅的生产工艺

梁骏吾

《中国工程科学》 2000年第2卷第12期页码 34-39

摘要：

就建设1000t电子级多晶硅厂的技术进行了探讨。对三氣氢硅法、四氣化硅法、二氣二氢硅法和硅烷法生产的多晶硅质量、安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比；对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较介绍了用三氣氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1000t/a级的电子级多晶硅生产。

关键词：多晶硅三氣氢硅法硅烷法流程生产

HTML PDF 收藏

千兆赫片上互联单壁纳米碳管电分析 Article

Zamshed Iqbal CHOWDHURY,Md. Istiaque RAHAMAN,M. Shamim KAISER

《信息与电子工程前沿（英文）》 2017年第18卷第2期页码 262-271 doi: 10.1631/FITEE.1500349

摘要：在未来的高频系统芯片，特别是片上网络的设计中，知识产权模块之间的联系至为关键，而单壁纳米碳管则是其中一种很有前景的纳米结构。电路及系统尺寸的不断缩减限制了对1000 GH级别高频信号特征的利用。

关键词：互联；碳纳米管；电流密度；传播常量；特性阻抗；片上系统

HTML PDF 收藏

秦巴山脉河南片区（伏牛山区）绿色循环发展战略研究

刘炯天

《中国工程科学》 2016年第18卷第5期页码 80-91 doi: 10.15302/J-SSCAE-2016.05.012

摘要：

阐述秦巴山脉及河南片区（伏牛山区）绿色循环发展的重要意义。从秦巴山脉河南片区地理、地貌特征，人口、社会及基础设施，经济及产业发展状况，区域产业发展规划等方面，分析秦巴山脉河南片区具有的“强生态环境”和“弱经济基础”特点的基本情况，创立秦巴山脉河南片区以“伏牛山生态–产业协同双向梯度发展”的模式，构建“伏牛山南北坡绿色循环经济产业发展示范区”的绿色循环发展战略

关键词：秦巴山脉河南片区伏牛山区绿色循环发展战略研究生态环境经济基础

HTML PDF 收藏

兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考

梁骏吾

《中国工程科学》 2000年第2卷第6期页码 33-35

摘要：

文章简要评述了世界以及中国的电子级多晶硅的生产能力和市场需求。在2000年和2010年中国对多晶硅的需求分别是736 t/a和1304 t/a。但近几年中国的多晶硅生产仅达到80 t/a，所以在中国建设一座年产1000 t电子级多晶硅的工厂是很合理的。然而由最新统计数据可知，自1997年以来，世界多晶硅生产能力连年均超过市场需求，而且在最近的将来，这一趋势将会继续。为了占领国内多晶硅市场，未来的多晶硅工厂将面临挑战，产品质量和生产成本是应当考虑的最重要指标。为了占领国内市场，在保证多晶硅产品纯度的前提下，生产成本只能略微超过20美元/kg。

关键词：多晶硅半导体工业规模生产

HTML PDF 收藏

屈螺酮炔雌醇片预防稽留流产清宫术后宫腔粘连初步研究

赵现立,刘朝阳,谭宏伟,张恩娣

《中国工程科学》 2015年第17卷第6期页码 13-15

摘要：

目的：观察稽留流产清宫术后服用屈螺酮炔雌醇片对减轻宫腔粘连发生的效果。两组患者均在清宫术前服用米非司酮片150 mg和米索前列醇片600 μg治疗，术后常规应用抗生素3天。观察组：清宫术后给予屈螺酮炔雌醇片，每天服用一片，连续3个周期，对照组：患者实施清宫术后不给予屈螺酮炔雌醇片治疗。结论：清宫术后口服屈螺酮炔雌醇片是减少稽留流产术后发生宫腔粘连的一种安全有效的方法。

关键词：稽留流产宫腔粘连屈螺酮炔雌醇片

HTML PDF 收藏

硅基石墨烯调制器 Special Feature on Optoelectronic Devices and Inte

Hao-wen SHU, Ming JIN, Yuan-sheng TAO, Xing-jun WANG

《信息与电子工程前沿（英文）》 2019年第20卷第4期页码 458-471 doi: 10.1631/FITEE.1800407

摘要：为满足下一代光互联技术高带宽、低功耗的需求，基于金属互补氧化物半导体（CMOS）工艺的硅基光电子技术有望实现光电器件大规模、高密度集成，在高速率数据传输方面带来新突破。硅基调制器是硅基光电子学的核心器件之一，然而传统基于等离子色散效应的硅基耗尽式调制器在带宽、尺寸和功耗方面存在一定限制，影响传输系统整体性能。为解决该问题，石墨烯被引入硅基光电子器件的材料体系，其优异的电学传输特性和光电特性有效提升传统硅基光调制器单元器件性能。我们总结了基于热光、电光、等离子体等硅基石墨烯调制器的最新进展，其出色性能使硅基石墨烯调制器有望成为下一代片上及片外光互连技术的候选方案。

关键词：硅基光电子学；石墨烯；光调制器

HTML PDF 收藏

旋转体自身驱动的硅微机械陀螺

张福学,毛旭,张伟

《中国工程科学》 2006年第8卷第8期页码 23-27

摘要：

报道了一种利用旋转体自身角速度作为驱动力，通过各向异性刻蚀硅片制作的硅微机械陀螺。介绍了该陀螺敏感结构（硅摆）的设计、制作与封装工艺，用仿真器测试了旋转体的角速率。

关键词：硅各向异性腐蚀角速度仿真器

HTML PDF 收藏

用硅基激光器提高数据容量限制

Peter Weiss

《工程（英文）》 2019年第5卷第5期页码 824-825 doi: 10.1016/j.eng.2019.08.011

HTML PDF 收藏

用于制造高效低成本太阳能电池的单晶种铸造大型单晶硅 Article

Bing Gao,Satoshi Nakano,Hirofumi Harada,Yoshiji Miyamura,Takashi Sekiguchi,Koichi Kakimoto

《工程（英文）》 2015年第1卷第3期页码 378-383 doi: 10.15302/J-ENG-2015032

摘要：

为了能以低成本生产优质大型单晶硅，笔者提出了单晶种铸造技术。这项技术的实施，必须解决两个问题，即坩埚壁上的多晶成核问题和晶体内的位错增殖问题。在本文中，笔者尝试通过数值分析法来解决这两个问题。根据数值分析得出的优化熔炉结构和工况进行了实验，在实验中采用单晶种铸造技术来生长单晶硅。实验结果表明，该技术远优于常用的高性能多晶和准单晶铸造技术。

关键词：单晶种铸造单晶硅多晶成核位错增殖多晶硅